直接比对法质谱计校准装置

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)兰州物理研究所 作者:李得天

        直接比对法质谱计校准装置如图1所示。校准装置通过一个阀控制引入的气体流量, 这种技术不需要知道气体流量, 校准装置包括被校质谱计和参考标准规, 参考标准规推荐采用磁悬浮转子规(SRG)和电离规(IG)。

        磁悬浮转子规和质谱计的测量范围都受到限制,但它们有足够的重叠范围,因此是一种较好的校准方法。两种参考标准规都是全压力规, 且灵敏度都与气体种类有关, 因此, 只能用单一气体进行校准。质谱计和参考标准规应正确安装,以保证压力相同。

直接比对法校准装置原理图 

1. 分压力质谱计 2. 校准室 3. 微调阀 4. 参考标准规 5. 气源 6, 10. 隔断阀 7, 9. 机械泵 8, 11. 热传导规 12. 分子泵 13. 放气阀

图1 直接比对法校准装置原理图

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