动态流导法校准真空计的方法

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      动态流导法有时也称为动态流量法和小孔法校准,它是建立在气流连续性原理、分子流状态和等温条件基础上的,由于是动态校准,吸气和放气的影响很小。在分子流状态下,流导公为结构几何尺寸的函数,与压力无关。其校准下限随真空获得和小流量测量水平而延伸。是目前超高真空和极高真空的切实可行的校准方法。

      动态流导法校准原理是根据气体分子运动论原理,利用薄壁小孔作标准流导产生已知低压力的。

动态流导法校准真空计的方法

图30:动态流导法校准真空计的方法

     图30是这种校准方法原理示意图。首先将校准室压力抽至校准压力下限以下2~3个数量级,这样计算校准压力时可忽略本底的影响。校准气体以稳定流量pG通过针阀K,由进气管注入校准室。气体以分子流流经一薄壁小孔并由真空系统抽除。在达到动态平衡时,在小孔上方的校准室建立起已知的低压力p,用它来校准真空计G。校准室的压力可由式29计算。

      由于系统的有效抽速比小孔流导大很多,故使得小孔下游的压力户。远小于校准室压力p,这样小孔下游压力测量值误差对校准压力的影响很小。因此,只要根据校准气体流量qG、小孔流导C和小孔下游压力pb,就可以计算出校准室压力来。

      校准气体的流量qG由流量计测量。流量范围为10-7~10-3Pam3s-1,其测量精度可达士O.5%,压力校准范围是10-5~lO-1Pa。

      由于很难测定微小的流量,也就直接限制了校准压力下限。采用分流的办法,能扩展压力校准下限,这就是二级动态流导校准法。

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