钛泵和溅射离子泵的工作原理
钛泵是真空泵的一种, 但它不同于普通的压缩型泵。钛泵没有转动机构, 也不使用真空泵油,它采用俘获气体分子的方式除气, 能得到清洁的高真空, 这对于提高光源质量有很大的帮
分子筛吸附泵的结构及其抽气原理
分子筛是一种人工合成的沸石，分子筛对气体的吸附是物理吸附，过程是可逆的。低温下吸附的气体在温度回升时将如数地释放出来。
- 溅射离子泵泵体发烫故障原因分析2008-11-26 18:34:06
- 溅射离子泵泵体发烫故障的发生通常是由于泵内压强过高或者油气进入。
- 溅射离子泵抽速或真空度下降的故障分析2008-11-26 18:17:04
- 溅射离子泵抽速或真空度下降可能因为离子泵漏气、离子泵吸气剂饱和、离子泵泵体重装后处理不当等原因造成的。
- 钛泵和溅射离子泵的工作原理2008-11-26 17:38:29
- 钛泵是真空泵的一种, 但它不同于普通的压缩型泵。钛泵没有转动机构, 也不使用真空泵油,它采用俘获气体分子的方式除气, 能得到清洁的高真空, 这对于提高光源质量有很大的帮助。
- 冷阱的启动压强和冷却冷阱需要的液氮量2008-11-20 18:15:59
- 冷阱通液氮越早, 液氮消耗量越大, 通液氮越晚, 挡油效果越差。冷阱正常工作前, 必须由300 K 降到80 K 左右, 此间冷却内胆和障板要消耗液氮。这就需要通过对内胆和障板传热计算液氮量。
- 冷阱的主要参数设计计算2008-11-20 18:06:40
- 讲叙了冷阱的主要参数计算，冷阱流导、液氮胆与外壳的设计、冷阱热负荷的计算、障板的设计等等。
- 冷阱的基本结构2008-11-20 17:59:56
- 冷阱的基本类型属于中心带障板的冷阱, 其优点是捕油性能好, 既能挡住一次束流, 又能防止油分子的爬移, 在内胆和上法兰之间的薄壁筒, 作为表面油分子的爬移垒, 也用来阻挡从胆和外壳之间进入真空容器一端的油分子。
- 低温泵故障对低温泵抽气性能的影响2008-11-19 18:08:27
- 氦气的压力不足时会影响低温泵的制冷效率，低温泵的噪音只出现在低温泵处于低温时。此时极有可能是低温泵的氦气受到污染, 需要进行除污染程序。
- 氦气压缩机的泄漏对低温泵抽气性能的影响2008-11-19 17:48:52
- 氦气压缩机润滑油的泄漏和氦气压缩机的氦气泄漏会导致低温泵氦气的压力持续降低, 最终会影响低温泵的抽气性能。
- 吸附捕集器(吸附阱)的技术特点2008-10-22 17:14:40
- 吸附捕集器(吸附阱)是利用某些物质具有吸附性能（物理吸附和化学吸附）的原理来捕集可凝性蒸汽的一种捕集器。常用的吸附剂有：分子筛（沸石），活性碳，硅胶，Al2O3，P2O5等。 本文给出了常见的吸附阱的结构原理图。
- 冷凝捕集器(冷阱)的抽速计算公式2008-10-21 19:02:29
- 冷凝捕集器(冷阱)对蒸气分子的抽速类似于低温泵的抽速，是指在捕集器中的蒸气压强下，单位时间内凝结在冷却壁上的蒸气体积。本文介绍了冷阱的抽速计算方法与公式。
- 冷凝捕集器(冷阱)的作用和典型结构2008-10-21 18:53:55
- 冷阱是利用低温冷壁来捕集可凝性蒸气的一种低温冷凝捕集器，冷阱的结构型式很多，就材质而言，有金属冷阱和玻璃冷阱两类。
- 机械捕集器的设计原则及其典型结构2008-10-21 16:36:55
- 机械捕集器阻挡住直线运动的蒸气分子穿越，使其在壁板上凝结或反射回去，用这种机械阻挡的方法消除或减少蒸气分子进入被抽容器，靠机械阻挡的方法来降低油蒸气的返油率。
- 挡油帽的作用与主要参数计算2008-10-21 16:25:16
- 挡油帽一般设置在扩散泵泵芯的一级喷咀上面，这样可以大大降低油蒸气的返流。但挡油帽降低了返油率，同时也降低了泵的抽速。因此挡油帽的设计就相当重要。
- 低温冷凝泵的抽气特性2008-09-15 18:52:46
- 本文介绍了低温冷凝泵的理论抽速、低温冷凝泵的实际抽速、低温冷凝泵的极限压强、低温泵的降温时间、低温泵的工作寿命等关于低温泵的抽气特性计算公式。
- 低温泵的抽气原理与分类与结构2008-09-13 10:49:04
- 利用低温表面上的吸附剂和打在其上的气体分子发生吸附而达到抽气作用的泵叫低温吸附泵。根据所用吸附剂不同，又可分为三种类型： 非金属吸附剂泵、金属吸附剂泵、气体霜。
- 溅射离子泵的抽气特性2008-09-13 10:44:06
- 溅射离子泵的抽气特性如溅射离子泵的极限压强、溅射离子泵的抽速、溅射离子泵在抽除惰性气体氩不稳定性、溅射离子泵对有机蒸气污染敏感等等。
- 溅射离子泵的结构及其抽气机理2008-09-13 10:38:54
- 溅射离子泵又称潘宁泵，它是靠潘宁放电维持抽气的一种无油清洁超高真空泵。是目前抽惰性气体较好的真空获得设备。溅射离子泵主要由阳极、阴极、磁场和电源四大部分组成。
