气体捕集式真空泵的几种类型

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    气体捕集式真空泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵内表面上的真空泵,可分以下几种型式。


    1.吸附泵,它是依靠具有大表面积的吸附剂(如多孔物质)的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵。例如分子筛吸附泵。


    2.吸气剂泵,它是一种利用吸气剂以化学方式捕获气体的真空泵。吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金。例如钛升华泵和锆铝吸气泵属于这种类型。


    3.吸气剂离子泵,它是使被电离的气体通过电场或电磁场的作用吸附在吸气材料的表面上,以达到抽气目的的。它有如下两种型式。


      1)蒸发离子泵:泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华(或蒸发)而覆在泵内壁的吸气材料上,以实现抽气的一种真空泵。例如轨旋式离子泵(或称弹道式钛泵)。
      2)溅射离子泵:泵内被电离的气体吸附在由阴极连续溅散出来的吸气材料上以实现抽气目的的一种真空泵。


    4.低温泵,它是利用低温表面捕集气体的真空泵。

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