溅射离子泵的抽气特性

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)真空技术网整理 作者:真空技术网

    1)溅射离子泵的极限压强:可达10-10Pa。


    2)溅射离子泵的抽速:在高真空时,二极型溅射离子泵每一阳极格子的抽速经验公式为


      

二极型溅射离子泵的抽速经验公式

二极型溅射离子泵的抽速经验公式


       式中h 为阳极筒高度(cm);Ua为阳极电压(V);H 为磁场强度(A/m);d 为阳极简直径(cm);e = 2.71828。
       多个阳极筒组成一台溅射离子泵以后,其总抽速不考虑泵口流导影响)为:
        So = m·nfs    (L/s)    (6)
        式中m 优为泵高方向并联单元组数;n 为泵深方向每一纵行单元数;f 为抽速有效系数,与单元排列有关;s为每一单元的抽速。


    3)溅射离子泵在抽除惰性气体时,二极泵会出现氩不稳定性。


    4)溅射离子泵对有机蒸气污染敏感,连续抽30min油蒸气就会使泵起动困难。

与气体捕集式真空泵相关的文章:

  溅射离子泵的抽气特性为真空技术网首发,转载请以链接形式标明本文首发网址。

  http://www.chvacuum.com/pumps/gas/09158.html

  与 气体捕集真空泵 溅射离子泵 潘宁泵 相关的文章请阅读:

  气体捕集真空泵http://www.chvacuum.com/pumps/gas/