溅射离子泵的抽气特性

2020-05-06 真空技术网 真空技术网整理

　　1、溅射离子泵的极限压强：可达10-10Pa。

　　2、溅射离子泵的抽速：在高真空时，二极型溅射离子泵每一阳极格子的抽速经验公式为

二极型溅射离子泵的抽速经验公式

　　二极型溅射离子泵的抽速经验公式

　　式中h 为阳极筒高度(cm);Ua为阳极电压(V);H 为磁场强度(A/m);d 为阳极简直径(cm);e = 2.71828。

　　多个阳极筒组成一台溅射离子泵以后，其总抽速不考虑泵口流导影响)为：

　　So = m·nfs (L/s) (6)

　　式中m 优为泵高方向并联单元组数;n 为泵深方向每一纵行单元数;f 为抽速有效系数，与单元排列有关;s为每一单元的抽速。

　　3、溅射离子泵在抽除惰性气体时，二极泵会出现氩不稳定性。

　　4、溅射离子泵对有机蒸气污染敏感，连续抽30min油蒸气就会使泵起动困难。

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