冷凝泵的基本原理与制冷过程

气体捕集真空泵 李小宁 华越微电子有限公司

G-M循环冷冻机的基本原理

        驱动He气通过压缩机的压缩后,以高压形态供给冷冻机,将蓄冷器和气缸的室温侧连在一起,借助切换阀接在He气压缩机的高压与低压侧。此外,再将蓄冷器和气缸切换到低温侧,气缸内有一个活塞连杆,借助曲柄连杆机构上下移动。为使G-M循环冷冻机更小型化紧凑化,在活塞杆内采用了蓄冷器构造(如图2所示)。

冷冻机结构图 

图2 冷冻机结构图

        用活塞密封被隔气缸内的压缩气体, 通过活塞的上下移动,使里面的被隔气体膨胀,就可使其吸收外部的热量。如果,从外部传入的热量较少或者根本没有, 处于断热状态,气体本身就会降温。这种吸收外部热量下降自身温度的过程,从能量守恒的角度来分析,正好与活塞对外做的功相等。这就是制冷的基本原理。

G-M循环冷冻机的制冷过程

制冷流程简图 

图3 制冷流程简图