钛泵的结构与抽气机理及维护

介绍加速中的钛溅射离子泵的工作原理、结构原理和基本维护方法。

钛泵和溅射离子泵的工作原理

钛泵是真空泵的一种, 但它不同于普通的压缩型泵。钛泵没有转动机构, 也不使用真空泵油,它采用俘获气体分子的方式除气, 能得到清洁的高真空, 这对于提高光源质量有很大的帮

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钛升华泵在提高同步辐射环真空度上的作用2009-10-10 22:23:06
钛升华泵能有效提高同步辐射装置在高能量、大流强运行时的真空度,从而改善束流寿命,提高供光效率。
非蒸散型吸气剂在微型离子泵中的应用2009-09-05 14:17:25
为确保小尺寸超高真空密封器件的高可靠和长寿命,开发了一种带非蒸散型吸气剂的微型复合离子泵,并研究了非蒸散型吸气剂对器件存储和微型离子泵启动特性的影响。
蒙特卡洛法计算钛升华泵抽气速率的结果与讨论2009-05-27 21:39:29
用蒙特卡洛法计算了HIRFL-CSR 钛升华泵对于不同气体吸附系数在分子流条件下的吸附概率,分析了挡板的形状和设置位置对吸附概率的影响,并得到了对H2抽速的计算与实验数据相接近的结果。
HIRFL-CSR钛升华泵的设计2009-05-27 21:29:12
钛升华泵与其他无油泵相比,在相同抽气口径下具有抽速大、极限真空高(与离子泵配合) 、使用寿命长、结构简单、操作方便、价格便宜等优点。作者自行研制了适用于超高真空系统的HIRFL-CSR 钛升华泵。
钛泵的结构与抽气机理及维护2009-05-05 16:28:52
介绍加速中的钛溅射离子泵的工作原理、结构原理和基本维护方法。
用钛升华泵提高BEPCII同步辐射环真空度2009-05-04 12:12:29
BEPCII同步辐射要求储存环真空室在束流运行时具有较高的真空度,而在供光初期由于束流清扫不够,往往难以达到足够高的真空度,因而束流寿命较低。通过激活同步辐射储存环上的钛升华泵可以明显提高真空度,从而改善束流寿命。
微型离子泵抽速测试结果及误差分析2009-03-28 19:28:18
用高纯氮气为抽速测试气体,离子泵对N2 抽速≥013 L/ s。根据二极型溅射离子泵对不同气体抽速的经验比值可知,溅射离子泵对N2 抽速为对干燥空气抽速的85%。
动态流导法测溅射离子泵抽速原理与步骤2009-03-28 16:53:29
参考机械行业标准JB/T2965,探讨了微型溅射离子泵性能测试实验方法,改建了实验系统,测量了微型溅射离子泵各项性能指标。
微型溅射离子泵测试系统及测试方法2009-03-28 16:05:48
参考国内外溅射离子泵的测试方法和行业标准,提出了微型溅射离子泵性能的测试方法,并利用现有实验设备设计了测系统,实际测试了微型溅射离子泵的各项性能指标。
溅射离子泵泵体发烫故障原因分析2008-11-26 18:34:06
溅射离子泵泵体发烫故障的发生通常是由于泵内压强过高或者油气进入。
溅射离子泵抽速或真空度下降的故障分析2008-11-26 18:17:04
溅射离子泵抽速或真空度下降可能因为离子泵漏气、离子泵吸气剂饱和、离子泵泵体重装后处理不当等原因造成的。
钛泵和溅射离子泵的工作原理2008-11-26 17:38:29
钛泵是真空泵的一种, 但它不同于普通的压缩型泵。钛泵没有转动机构, 也不使用真空泵油,它采用俘获气体分子的方式除气, 能得到清洁的高真空, 这对于提高光源质量有很大的帮助。
溅射离子泵的抽气特性2008-09-13 10:44:06
 溅射离子泵的抽气特性如溅射离子泵的极限压强、溅射离子泵的抽速、溅射离子泵在抽除惰性气体氩不稳定性、溅射离子泵对有机蒸气污染敏感等等。
溅射离子泵的结构及其抽气机理2008-09-13 10:38:54
溅射离子泵又称潘宁泵,它是靠潘宁放电维持抽气的一种无油清洁超高真空泵。是目前抽惰性气体较好的真空获得设备。溅射离子泵主要由阳极、阴极、磁场和电源四大部分组成。
钛升华泵的极限压强与抽速2008-09-12 20:04:49
钛升华泵的极限压强:可达10-10Pa。钛升华泵的抽速较大,抽速可以计算。
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