质谱测量栏目简介

在超高真空下,通常需要知道容器内的气体组分和相应的分压,质谱测量栏目主要讲述了使用四极质谱计进行残余气体分析及分压测量技术。

基于四极质谱仪航天器单点检漏应用研究

为了研究四极质谱仪在航天器单点检漏应用中的可行性,本文对航天器单点模型和单点检漏过程进行分析,并通过试验对四极质谱仪在航天器单点检漏进行验证。

四极质谱仪在电子诱导脱附实验中的应用
在ESD 实验中,四极质谱仪可以分析电子诱导脱附后残余气体成分:H2、H2O、CO、CO2 和少量的碳氢化合物。
基于四极质谱仪航天器单点检漏应用研究
为了研究四极质谱仪在航天器单点检漏应用中的可行性,本文对航天器单点模型和单点检漏过程进行分析,并通过试验对四极质谱仪在航天器单点检漏进行验证。
四极杆质谱仪中探测器——法拉第杯的工作原理
本文介绍了四极杆质谱仪中探测器——法拉第杯的工作原理。
四极杆质谱仪中启用二次电子倍增器 (SEM)优缺点
使用四极杆质谱仪测量真空腔体内的残余气体成份时,如果要测量极其小的离子电流或需要极其高的测量速度,则使用物理前置放大器,即所谓的二次电子倍增器。
空间小型磁偏转质谱计的研制
小型磁偏转质谱计经历3 年多实现了从原理样机、验证件产品以及正样产品的研制工作,并于2012 年年底在实验卫星上实现了搭载飞行,迄今为止已实现在空飞行测试近两年。
小型磁偏转质谱计离子源设计与验证
本文介绍了用于小型磁偏转质谱计 的离子源结构和供配电关系设计。同时还对离子源内电场分布、离子运动轨迹进行了仿真分析,并通过质谱计整机测试和试验间接验证了离子源设计。
电真空器件烘烤排气过程中残余气体质谱分析
本文在真空排气台上安装四极质谱仪,通过烘烤排气过程中器件内出气过程的质谱分析,对阴极及管内材料出气过程及成分研究和评价。
四极质谱仪真空检漏方式的优缺点及注意事项
使用四极质谱仪,可分析真空腔体内的残留气体,通过实时分析气体成份,也可以实现真空检漏。
基于分压力测量的真空材料放气率测试方法研究
本文提出了基于分压力测量的真空材料放气率测试方法,通过采用四极质谱计测量小孔两端的分压力来测试单一气体的放气率。
高分辨四极质谱计在HL-2A装置上的应用
将具有分辨氦(He)和氘(D2)能力的高分辨四极质谱计安装到HL-2A托卡马克装置上,同时送入氦气和氘气,得到了质谱计可分辨的最小He+/D+2峰值比。
GaAs基片高温加热清洗过程中残气脱附的研究
为了优化GaAs基片的加热清洗工艺, 获得原子级清洁表面, 用四极质谱仪研究了GaAs基片高温加热清洗过程中常见气体及Ga、As元素的脱附规律。
小型磁偏转质谱计离子源性能参数的模拟研究
建立了应用于小型磁偏转质谱计的电子轰击型离子源模型,计算了离子的运动轨迹,分析了离子源各参数对聚焦和离子引出效率的影响。
质谱计校准技术发展现状
作为残余气体分析器和分压力测量的主要仪器,四极质谱计的使用越来越引起重视,使得其质谱计校准技术研究成为真空计量领域的一个热点问题。
兰州空间技术物理研究所(LIP) 的质谱计校准系统
兰州空间技术物理研究所(LIP) 在上个世纪九十年代已研制了一套质谱计校准系统,主要由供气系统、进样系统、校准室、抽气系统和数据采集系统等几部分组成。
清华大学的质谱计校准系统
清华大学在1993年建立了一台分压力质谱计校准与应用研究系统,并且对质谱计的各种参数开展了相关研究。