质谱测量

在超高真空下,通常需要知道容器内的气体组分和相应的分压,质谱测量栏目主要讲述了使用四极质谱计进行残余气体分析及分压测量技术。

基于四极质谱仪航天器单点检漏应用研究

为了研究四极质谱仪在航天器单点检漏应用中的可行性,本文对航天器单点模型和单点检漏过程进行分析,并通过试验对四极质谱仪在航天器单点检漏进行验证。

GaAs基片高温加热清洗过程中残气脱附的研究
为了优化GaAs基片的加热清洗工艺, 获得原子级清洁表面, 用四极质谱仪研究了GaAs基片高温加热清洗过程中常见气体及Ga、As元素的脱附规律。
小型磁偏转质谱计离子源性能参数的模拟研究
建立了应用于小型磁偏转质谱计的电子轰击型离子源模型,计算了离子的运动轨迹,分析了离子源各参数对聚焦和离子引出效率的影响。
质谱计校准技术发展现状
作为残余气体分析器和分压力测量的主要仪器,四极质谱计的使用越来越引起重视,使得其质谱计校准技术研究成为真空计量领域的一个热点问题。
兰州空间技术物理研究所(LIP) 的质谱计校准系统
兰州空间技术物理研究所(LIP) 在上个世纪九十年代已研制了一套质谱计校准系统,主要由供气系统、进样系统、校准室、抽气系统和数据采集系统等几部分组成。
清华大学的质谱计校准系统
清华大学在1993年建立了一台分压力质谱计校准与应用研究系统,并且对质谱计的各种参数开展了相关研究。
意大利国家计量研究院(IMGC)的质谱计校准技术
意大利IMGC的这套质谱计校准系统采用比对的方法进行校准,采用四极质谱计之间和四极质谱计与热阴极真空计、冷阴极真空计之间的比对进行校准。
日本国家工业科学技术研究院(AIST)的分压力测量系统
日本AIST在上个世纪末研制出的分压力测量系统,其工作原理如本文介绍。
德国联邦物理研究院(PTB)的质谱计校准技术
德国的PTB研制出了基于中红外激光吸收光谱法的分压力校准系统,利用气体分子发出的光谱强度来测量混合气体分压力的大小。
美国国家标准技术研究院(NIST)的质谱计校准技术
美国的质谱计校准技术是随着航天技术而发展的。美国国家标准技术研究院提出质谱计的直接比对法、压力衰减法、小孔流导法、原位置校准法四种校准方法。
小型磁偏转质谱计上位机软件的设计与实现
在小型磁偏转质谱计的调试过程中,需要由质谱计上位机软件向下位机发送间接指令并实现扫描控制和对离子流的采集、处理、存储和分析。
提高四极质谱计线性上限的一些考虑
通过对实验结果的分析研究,提出了在不影响四极质谱计其它性能的情况下提高四极质谱计线性上限的方法。
污染对四极质谱计性能的影响
本文就四极质谱计(主要是离子源和四极杆)污染对性能的影响进行了详细研究
蜂窝板出气成分质谱分析试验研究
本试验研究通过对蜂窝材料进行加热烘烤方式,增加材料的出气量、提高材料的出气速率,同时结合四极质谱计分压力测试分析方法来实现对蜂窝板材料大气环境下的出气性能和出气成分测试分析。
四极质谱计气体分析与测量系统的研制
介绍了为开展漏孔检测、氘-氦分辨性能及真空检漏技术等相关实验研究而进行的四极质谱计分析与测量系统的研制
四极质谱计气体分析系统性能测试实验
对四极质谱计系统进行了包括极限真空、残余气体质谱分析、漏放气率、质谱计性能等测试。