质谱测量

在超高真空下,通常需要知道容器内的气体组分和相应的分压,质谱测量栏目主要讲述了使用四极质谱计进行残余气体分析及分压测量技术。

基于四极质谱仪航天器单点检漏应用研究

为了研究四极质谱仪在航天器单点检漏应用中的可行性,本文对航天器单点模型和单点检漏过程进行分析,并通过试验对四极质谱仪在航天器单点检漏进行验证。

ESI离子阱质谱仪概述及真空系统关键部件设计及安装
ESI离子阱质谱仪适合于分析极性化合物、易热分解和高分子量化合物等物质。ESI 的离子化源是一种外部电离源,它的真空腔体采用三级梯度真空设计。
分压力校准与应用研究系统的发展历史
讲述了分压力校准与应用研究系统的发展历史。
分压力测量的历史发展历程
一般情况下,提供真空系统的全压力信息可能就足够了,但如果要了解真空系统中发生的现象的详尽信息,就必须借助分压力质谱计才能完成。
四极质谱计在高压力下的测量实验设备与实验结果
通过实验和实验结果分析,四极质谱计灵敏度在高压力下偏离线性的主要原因除了离子与气体分子和离子碰撞导致离子损失外,离子间电荷的作用力使离子发生散射也是一个重要的原因。
四极质谱计在高、低压力下灵敏度的关系研究
通过对四极质谱计的灵敏度进行研究,通过理论分析得出了高压力下灵敏度与低压力下灵敏度的关系,从而达到用四极质谱计在高压力下准确测量分压力的目的。
四极质谱计检漏原理及方法与过程
利用四极质谱计进行检漏,主要是对示漏气体的分压力进行测量,由此知道漏孔位置及漏率大小。一般的步骤是先定性后定位,如果需要定量,还需要接入校准系统。
质谱计的残余气体分析检漏和示漏气体动态检漏
叙述了利用四极质谱计的残余气体分析检漏和示漏气体动态检漏方法之间的差别。同时给出了漏孔漏率的计算方法。
四极质谱计的真空检漏方法和过程
四极质谱计对真空系统内主要残余气体进行谱峰扫描即可判断系统有无漏孔。与检漏仪检漏相比, 没有“分流”作用, 具有较高的灵敏度, 更适用于极高真空系统的检漏。
四极质谱计用于检漏的工作原理
四极质谱计比普通检漏仪有更高的灵敏度、更大的分辨本领, 而且具有体积小、重量轻、价格便宜等诸多优点, 将在真空检漏领域发挥更大的作用。
小孔流导法质谱计校准装置
小孔流导法质谱计校准装置需要知道小孔的流导和测量流量,因此对结构和操作要求都较高。
压力衰减法质谱计校准装置
压力衰减法质谱计校准装置不需要知道气体流量, 校准装置只需要一个参考标准规,如电容规或磁悬浮转子规,具体装置如正文描述。
直接比对法质谱计校准装置
直接比对法质谱计校准方法是一种较好的校准方法,包括被校质谱计和参考标准规, 参考标准规推荐采用磁悬浮转子规(SRG) 和电离规( IG)。
分压力质谱计校准装置与校准前检查
校准分压力质谱计采用直接比对法、压力衰减法、小孔流导法、原位置校准法。前三种校准方法可以设计相应的校准装置来完成。第四种方法要求校准时的抽速与使用时的抽速相同。
残余气体分析仪的远距离控制
本文介绍了MKS公司和INFICON公司的残余气体分析仪(RGA)的RS-232通讯电缆(与PC通讯)的接口引脚、功能以及从多芯简化为三芯的可行性。从而可以利用一对通用的RS-232/RS-485/422通讯转换模块将RGA的RS-232通讯转换为RS-485/422通讯,用极少的代价实现了计算机对RGA的远距
四极质谱计检漏图谱分析与优点
四极质谱计做为一种非常有用的残余气体分析工具,通过气体含量的变化反映在质谱图上,具有较高的灵敏度, 更适用于极高真空系统的检漏,可以测量示漏气体在真空容器内的分压力。