真空计校方法准概述

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    真空计校准是真空测量的基础,是研究和发展真空测量的有力工具。它不但能使已有的相对真空计统一在可靠的标准之下,而且还可对发展中的真空计进行性能的研究。

    所谓“真空计校准”就是对相对真空计进行“刻度”。真空计刻度是在一定条件下对一定种类气体进行的,从而得到校准系数或刻度曲线。因此气体种类的改变或工作条件的变化,原校准曲线就不能使用,必须重新进行校准。同一台测量仪器,更换规管时校准曲线也会发生变化。由此观之,对相对真空计校准是非常必要的,又要定期进行,否则会产生超过允许的测量误差。

    校准是对真空计整体而言,既包括所谓的一次仪表的真空规管,又包括所谓的二次仪表的电子线路。通常是二者合在一起进行校准,也可以分别对真空计规管和电子线路进行校准,而后者是较为理想的。

    真空计校准的前提是必须有标准真空计和校准系统,并通过一定方法进行。

    真空标准有绝对真空计、标准相对真空计(或副标准真空计)和绝对校准系统。所有绝对真空计均可作为真空标准。而以绝对真空计为基准,将经过压力衰减后精确计算出的再生低压力作为标准的真空计校准系统称为绝对校准系统。如膨胀法校准系统应用静力热平衡,其理论基础为理想气体的玻意耳定律,把U型管压力计校准下限延伸至高真空(10-4Pa)。稳定性和精度高的真空计,经过校准之后,可作为次级标准,对工作真空计进行校准,称这种真空计为副标准真空计。

    在计量学中,所谓标准是按精度等级排列的一个体系。国家技术监督局批准并于1990年5月1日实施“真空计量器具检定系统"(JJG2022—89)。根据当前真空技术发展水平,真空获得和真空测量范围,已从大气压(105Pa)至极高真空(< lO-10Pa)。但工业生产和科学研究中,实际广泛应用的压力范围为10-8~105Pa。为了保证该范围内真空度量值的准确一致,制定了检定系统,进行真空度量值传递,检定各级真空计时器具。该检定系统主要适用于lO-8~lO5Pa范围内,计量、科研和工业部门使用的真空标准装置和真空计的检定。

真空计量器具检定框图

图28:真空计量器具检定框图

    图28示出真空计量器具检定框图。

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