真空计的分类及其适用量程范围

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)东北大学 作者:巴德纯

  压力测量中,除极少数直接测量外,绝大多数是间接测量。就是先在被测气体中引起一定的物理现象,然后再测量这一过程中与压力有关的物理量,进而设法确定压力值。这是真空测量的特点,亦会造成某些问题。

  1、真空计(Vacuum gauge)是测量低于一个大气压力的气体或蒸气压力的仪器。

  2、绝对真空计是从真空计本身测得的物理量直接计算出(或得出)压力的仪器。

  3、相对真空计则是必须经过绝对真空计的校准之后才能进行真空度的测量。

  任何具体物理现象与压力的关系,都是在某一压力范围内才最显著,超出这个范围,关系变得弱了。因此,任何方法都有其一定的测量范围,这个范围就是真空计的“量程”。尽可能扩展每一种方法的量程,是真空科学研究的重要内容之一。近代真空技术所涉及到的压力范围宽达19个数级(105~10-14 Pa),没有任何一种真空计能测量如此宽的压力范围,因此总是用几种真空计分别管辖一定的区域。但由于各种真空计在原理上的差异.在相互衔接的区域,往往要造成较大的误差。由上观之,为改善真空计性能及提高真空测量准确度,必须突出主要现象,抑制寄生现象。表1给出一些真空计的压力测量范围。

  在较高压力时(105~1Pa)利用压力差U型管压力计,麦克劳真空计,薄膜计,弹簧管压力计等。 在103~10-2 Pa的中间压力范围,利用气体性质(热传导,粘性)的变化而做成的皮氏计、粘性真空计。在低压力时,使用将气体分子电离而测量的电离真空计。

表2 真空计的适用压力范围

真空计的名称 可测的压力范围(Pa)
水银压力计(U型管) 105~102
油压力计(U型管) 105~102
油压力计(U型管) 3*103~1

麦克劳真空计(一般型和特殊型)

103~10-3
弹性变形真空计 105~102
隔膜真空计(机械式) 105~102
隔膜真空计(电气式) 105~10-3
电离真空计(三极管型) 10-1~10-5
超高真空用B-A型 10-2~10-6
极高真空用热阴极磁控计 10-5~10-10
高真空用(舒尔茨型) 10~10-2
冷阴极真空计 1~10-5
皮拉尼真空计 104~10-2
热电偶真空计 102~10-1
热敏电阻真空计 102~10-1
粘性真空计 1~10-5
克努曾真空计 10-1~10-5

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