钛升华泵的极限压强与抽速

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    1)钛升华泵的极限压强:可达10-10Pa。


    2)钛升华泵的抽速:钛升华泵的抽速较大,新鲜钛膜在液氮温度下,对氮的抽速可达10.1L/cm2·s,对氢的抽速可达19.9L/cm2·s。钛升华泵的抽速受很多因素影响,升华速率是决定其抽速的主要因素之一。若吸气面足够大,在一定压强范围内,升华速率高,则泵的抽速大。当然膜沉积速率与排气量要相称,否则第一层钛膜吸气尚未饱和,第二层又覆盖上去,即使升华率高,抽速也增大不了多少。为了维持恒定的抽速,减少钛的消耗,需要对升华速率进行调节。当真空度高时要把升华速率降低。吸气面也是决定泵性能的重要因素之一。吸气面越大,泵的抽速越大。但泵口流导限制了泵的抽速。对室温下空气,泵口最大流导是11.7L/cm2·s。钛升华泵的抽速
可用下式估算:

钛升华泵抽速计算公式

钛升华泵抽速计算公式


       式中σ是吸气面的最大粘着系数;A为吸气面面积(cm2);K为泻流系数(L/cm2·s),T为气体绝对温度,M为气体摩尔质量;B为1个气体分子需要和几个钛原子结合,B = 1~2;G是1Pa·L气体的分子数(G = 7.2×1019·1/T);P为压强(Pa);R是1杪种内供给吸气面的钛原子数(升华速率为1g/h时,为3.5×1018个/s)。

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