钛升华泵的极限压强与抽速
2020-05-06 真空技术网 真空技术网整理
1、钛升华泵的极限压强：可达10-10Pa。
2、钛升华泵的抽速：钛升华泵的抽速较大，新鲜钛膜在液氮温度下，对氮的抽速可达10.1L/cm2·s，对氢的抽速可达19.9L/cm2·s。钛升华泵的抽速受很多因素影响，升华速率是决定其抽速的主要因素之一。若吸气面足够大，在一定压强范围内，升华速率高，则泵的抽速大。当然膜沉积速率与排气量要相称，否则第一层钛膜吸气尚未饱和，第二层又覆盖上去，即使升华率高，抽速也增大不了多少。
为了维持恒定的抽速，减少钛的消耗，需要对升华速率进行调节。当真空度高时要把升华速率降低。吸气面也是决定泵性能的重要因素之一。吸气面越大，泵的抽速越大。但泵口流导限制了泵的抽速。对室温下空气，泵口最大流导是11.7L/cm2·s。钛升华泵的抽速
可用下式估算：
钛升华泵抽速计算公式
式中σ是吸气面的最大粘着系数;A为吸气面面积(cm2);K为泻流系数(L/cm2·s)，T为气体绝对温度，M为气体摩尔质量;B为1个气体分子需要和几个钛原子结合，B = 1～2;G是1Pa·L气体的分子数(G = 7.2×1019·1/T);P为压强(Pa);R是1杪种内供给吸气面的钛原子数(升华速率为1g/h时，为3.5×1018个/s)。
