分子筛吸附泵的抽气特性

2020-05-06 真空技术网 真空技术网整理

  1、分子筛吸附泵极限压强:一般为10-2~10-3Pa。

  2、分子筛吸附泵的抽速:分子筛吸附泵的抽速可用经验公式计算。

  S = 2.8×10-2A (L/S) (1)

  S = 6.6×10-3A·K (L/s) (2)

  n = 4( W / A ) (3)

  式中A为垂直于泵轴线的截面积(cm2);K为系数;W为分子筛用量(g);当 n>17 时,用(1)式计算抽速S,当 n<17 用(2)式计算S,系数K按表1选取。

表1 系数K

n
2
4
6
8
10
14
17
K
1.75
2.85
3.35
3.65
3.75
3.99
4.0
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