热偶真空计的结构原理

2016-03-12 真空技术网 真空技术网整理

  热偶真空计是借助于热电偶测量热丝温度的变化,用热电偶产生的热电势表征规管内的压力。DL-3型热偶规管的压力测量范围为102~10-1Pa。

  热偶真空计的结构原理图如图4-7所示。它由热偶式规管和测量线路两部分组成。热偶规管主要由热丝和热电偶组成,热电偶的热端和热丝相连,另一端作为冷端经引线引出管外,接至测量热电偶电势用的毫伏表。测量线路比较简单。

热偶真空计结构原理图

图4-7 热偶真空计结构原理图

  测量时,规管热丝通以一定的加热电流。在较低压力下(λ≥r2),热偶电势E决定于规管内的压力p,这是因为热丝温度的变化决定于气体的热传导。当压力降低时,气体分子传导走的热量减少,热丝温度随之升高,故热偶电势E增大,反之,热偶电势E减小。

  规管加热电流改变时,对其灵敏度和测量范围都有影响。如果加热电流增大,则规管灵敏度提高,能测较高的压力,但测量范围变窄;反之,如果加热电流减小,则规管灵敏度降低,只能测量较低压力,但测量范围较宽。

  在加热电流一定的情况下,如果预先已测出热偶电势E与压力 p的关系,那就可根据毫伏表的指示直接给出被测系统的压力。