小孔流导法质谱计校准装置

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)兰州物理研究所 作者:李得天

        小孔流导法质谱计校准装置如图3所示。校准压力P可由已知流导C和通过流导C的气体流量的测量值Q计算得到。

 

        这里R为小孔高压和低压端对应的压力P和P1之比, 即R=P/P1, 压力比也可以用小孔的流导和泵的抽速S表示为: R=[1+S/C]。校准装置中的限流孔是一个面积为A 的圆形小孔, 圆形小孔的分子流导可用较小的不确定度来计算, 在一级近似条件下, 圆形小孔的分子流导为

 

       T为气体温度(K),M 为气体分子量,A为小孔面积(cm2)。流导的精确值可表示为

 

        其中K是一个修正因子。对于直径为1cm的薄壁圆形小孔,在室温下, 对N2的分子流导约为9.4 L/s。与前面描述的直接比对法和压力衰减法校准装置相比,小孔流导法校准装置需要知道小孔的流导和测量流量,因此对结构和操作要求都较高。

小孔流导法校准装置原理图 

1.分压力质谱计 2.校准室 3, 6, 7, 11, 14.隔断阀 4.参考标准规 5.流量标准 8.流量计 9.微调阀 10.气源 12.气体引入系统 13.机械泵 15.热传导规 16.分子泵 17.放气阀

图3 小孔流导法校准装置原理图

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