意大利国家计量研究院(IMGC)的质谱计校准技术

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)兰州空间技术物理研究所 作者:任国华

  意大利IMGC的这套质谱计校准系统采用比对的方法进行校准,校准系统工作原理如图5 所示,采用四极质谱计之间和四极质谱计与热阴极真空计、冷阴极真空计之间的比对进行校准。从校准的结果来看,实验结果的复现性比较好。

  在实验中,真空规、四极质谱计探头要对称的安装在球形不锈钢真空室上,这样可以在相同的条件下测量真空容器的真空度。系统的极限压力是10-8 Pa,测量和校准的范围是1 × 10-4 ~ 5 × 10-7 Pa。

 意大利IMGC质谱计校准系统原理图

图5 意大利IMGC质谱计校准系统原理图

  1. 四级质谱计1 2. 四级质谱计2 3. 四级质谱计3 4. 溅射离子泵和非蒸散型吸气剂泵 5. B - A 规 6. 电磁隔断阀 7. 涡轮分子泵 8. 机械泵 9. 皮喇尼规 10. 真空室 11. 机械泵 12. 气源氢气 13. 气源氮气 14. 气源甲烷 15. 气源氩气 16. 电磁隔断阀

  四极质谱计的测量灵敏度受使用条件的影响, IMGC 认为主要是离子源剩磁的缘故,此实验对此进行了研究,研究结果表明在比较高的压力范围内( 大于5 × 10 -6 Pa) 剩磁现象对质谱计的影响很小。系统的优点在于可以一次性对多个质谱计进行校准,并且校准的范围比较宽,适用于一般质谱计的校准。考虑到校准过程中质谱计之间可能会相互影响,不建议多个质谱计同时进行校准。

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