意大利国家计量研究院(IMGC)的质谱计校准技术

　　意大利IMGC的这套质谱计校准系统采用比对的方法进行校准，校准系统工作原理如图5 所示，采用四极质谱计之间和四极质谱计与热阴极真空计、冷阴极真空计之间的比对进行校准。从校准的结果来看，实验结果的复现性比较好。

　　在实验中，真空规、四极质谱计探头要对称的安装在球形不锈钢真空室上，这样可以在相同的条件下测量真空容器的真空度。系统的极限压力是10^-8 Pa，测量和校准的范围是1 × 10^-4 ～ 5 × 10^-7 Pa。

图5 意大利IMGC质谱计校准系统原理图

　　1. 四级质谱计1　2. 四级质谱计2　3. 四级质谱计3　4. 溅射离子泵和非蒸散型吸气剂泵　5. B - A 规　6. 电磁隔断阀　7. 涡轮分子泵　8. 机械泵　9. 皮喇尼规　10. 真空室　11. 机械泵　12. 气源氢气　13. 气源氮气　14. 气源甲烷　15. 气源氩气　16. 电磁隔断阀

　　四极质谱计的测量灵敏度受使用条件的影响， IMGC 认为主要是离子源剩磁的缘故，此实验对此进行了研究，研究结果表明在比较高的压力范围内( 大于5 × 10 ^-6 Pa) 剩磁现象对质谱计的影响很小。系统的优点在于可以一次性对多个质谱计进行校准，并且校准的范围比较宽，适用于一般质谱计的校准。考虑到校准过程中质谱计之间可能会相互影响，不建议多个质谱计同时进行校准。