便携式真空校准装置

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)清华大学 作者:卢耀文

便携式真空校准装置

卢耀文1 陈旭1 李得天2 齐京1 查良镇1

(1.清华大学,北京 100084; 2.兰州物理研究所,甘肃 兰州730000)

  摘 要:为了解决许多应用领域对真空计的校准需求,研制出便携式真空校准装置。采用直径为200mm 的球形容器作为校准室,用两台不同量程的电容薄膜规作为参考标准,将静态比对法静态膨胀法动态流导法集成在一台装置上,实现1×105~4×10-6 Pa 范围对真空计的校准。

  静态比对法的校准范围为1×105~5×10-1 Pa ,合成标准不确定度为1.3%;静态膨胀法的校准范围为5×10-1~5×10-3 Pa,合成标准不确定度为1.5%;动态流导法采用两个不同流导小孔衰减压力实现的校准范围为5×10-3~4×10-6 Pa,合成标准不确定度为3.7%~4.7%。

  装置的外形尺寸为长×宽×高=450×400×750mm,总重量小于40 公斤,具有体积小、重量轻、成本低、便携等优点。

  关键词:真空计;计量;校准;便携式

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