真空区域的几种划分

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  有了量度真空度的单位,就可以定量地表示真空度的高低。但是,目前真空技术所涉及的压力范围已宽达20个数量级,为了使用方便,有时只需要粗略指出真空度的大致范围,通常定性地把真空粗略划分几个区域。划分区域的依据主要考虑真空状态下气体分子运动的物理特性、真空泵和真空计的有效工作范围等。

  我国关于真空区域的划分,《真空技术名词术语(GB3163-1982)》中规定如下:

真空区域的几种划分

  真空理论工作者推荐的真空区域划分如下:

真空区域的几种划分

  粗真空、低真空和高真空是依气体分子平均自由程与容器特征尺寸d相比的值来划分的。真空技术网(http://www.chvacuum.com/)认为主要考虑:是气体分子之间的相互碰撞还是气体分子与器壁的相互碰撞对所出现的物理现象起决定性作用。

真空区域的几种划分

  将高真空和超高真空的界限定为10-6 Pa,主要是考虑真空物理吸附机制只有在压力 p<10-6 Pa时才开始明显,才可由扩散泵抽气获得,由B-A计进行压力测量。至于超高真空与极高真空的划分界限在10-12 Pa,是因为p<10-12 Pa时,出现统计涨落(大于5×10-2 )。

  上述的真空区域划分,各区域均表示一个压力范围,原因是目前仍以压力表示真空度。但是,在低真空、高真空、超高真空和极高真空中,真空技术网(http://www.chvacuum.com/)认为所说的压力是有着本质差别的,压力只是其他量的相对指示。

  各个区域的真空物理特性、所用的真空泵和真空计详见表。国外关于真空区域划分也不一致,随着真空技术的发展,真空区域划分亦有变化。

表 真空区间物理特点和典型真空泵、真空计

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