真空校准系统校准真空计的主要步骤

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)中国工程物理研究院电子工程研究所 作者:刘兴胜

       真空技术的广泛应用促使着真空标准的研究和发展。为了保证真空测量的可靠性,对于各种真空计示值都需要定期进行校准,以保证其测量结果的准确一致。

       我们真空校准实验室是中国工程物理研究院专业计量标准实验室, 1996年首次通过国防科工委考核认可, 2002年4月按GJB2725—96通过了总装备部军事计量校准实验室的认可,符合国家二等真空标准,可以从10- 4Pa~10-5Pa范围内进行真空计的校准,承担着中国工程物理研究院真空计的校准和测试工作,年工作量约为250台次。

       真空校准系统是依据校准真空规的原理,将一支或几支参考规和若干支被校规,一同接到一个压力可调的校准容器上,进行比对校准的方法。它采用的原理基本属于以下三种:动态比对法、静态比对法、静态膨胀法。我们使用真空校准系统校准真空计的步骤主要是:

(1)调节标准室压强,按照由低压强到高压强的顺序,调节进气阀获得稳定的校准压强。

(2)校准点的选择:在被检计测量范围内,一般每个量程选取三个校准点。如遇非线性较大时,需要选取较详细的校准点。

(3)记录每个压强校准点的标准示值及比对的被检真空计示值。

(4)处理数据,出具校准证书。真空校准系统的设计方法,有如下六点要求:

(1)校准室的体积至少应该是接在系统上的所有规管总体积的20倍;

(2)校准室的形状应使它的表面积与体积之比尽可能小。故选用球型容器最理想,如选用圆筒型容器,则要求筒长与筒径之比不大于4;

(3)规管连接管的形状要保证使气体分子进入规的工作区以前至少与管壁碰撞一次;

(4)安装在校准室上的所有规管之间的压差和温差不应导致引起明显的测量误差;

(5)规管连接管的流导至少应为规管吸附速率或解吸速率的100倍;

(6)系统的极限压力应低于最低校准压力的2%。

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