真空校准测试技术现状和进展

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)航天科技集团五院514研究所真空事业部部长 作者:卢耀文

  报告题目:真空校准测试技术现状和进展

  报告时间:4月24日(周五)上午9:30-11:00

  地 点:格物楼二楼学术报告厅

  主办单位:机械与汽车工程学院

  报告人介绍:

  卢耀文,博士,研究员,毕业于清华大学,现任航天科技集团五院514研究所真空事业部部长,长期从事真空校准与测试研究工作。先后承担30余项国家、国防科研项目,发表学术论文30余篇,获国家专利40余项,获省部级科学技术进步奖一等奖2项,三等奖1项。在国内首次研制出便携式真空计、真空漏孔、检漏仪校准装置、复合型材料放气率测试装置、高精度宽量程分子泵性能测试装置,研制的超灵敏度检漏及其校准装置、复合型真空校准装置的技术指标处于国际领先水平。

  报告摘要:

  真空校准测试技术在航空航天、高能物理、核科学、微电子、太阳能、新能源、新材料等领域得到广泛应用,它是保证真空应用领域科研生产过程中真空量值统一、数据正确的基础,是保证产品质量的前提。真空校准测试的内容主要包括压力(P)、气体流量(Q)、抽速(S)三大参数,本报告主要介绍国内外真空校准测试技术的现状和进展,分析真空校准测试技术未来发展方向,介绍当前国际先进的真空校准测试及检测设备和应用。

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