普发真空(Pfeiffer Vacuum)发布新款节能型干泵 A 100 L ES

来源:普发真空

  节能50%以上

  结构紧凑、高抽速

  清洁制成的理想选择

  2013年1月23日 德国 阿斯拉(Asslar)- A 100 L紧凑型干泵是专为半导体领域生产设备灵活集成的要求而量身定制开发的一款产品。这款干多级罗茨泵是加载互锁真空室(load-lock chambers)、晶片传送室(transfer chambers )和其他无腐蚀应用(noncorrosive applications)的清洁制成环境中的理想选择。尽管这款干泵结构紧凑体积小巧,但她依然能够带来强大的抽速和高速响应的停机时间。现今,A 100L干泵已经广泛应用于全球领先的半导体工厂,并且非常适用于无尘室工作事。

Dry pumps A 100 L ES

  在A 100 L基础上研发的新款A 100 L ES(ES=Energy Saving)系列经过测试能够节能50%以上,在低压范围内其抽速表现依旧强大。并且比A 100 L具有更低的极限压力和噪音。

  一个典型的案例:300毫米制成的半导体工厂在加载互锁真空室(loadlock)装备1300台泵,一年能够节约10GWh以上的能源,相当于大约36万欧元,5.1吨的二氧化碳排放。

  此外为了节约能耗,A 100 L ES的极限压力降低到了7x10-4 mbar(hPa)。这开创了在要求低压环境下提高抽气速度新的潜在应用。同时泵的噪音从58 dB (A)下降到了55 dB (A)。A 100 L ES无疑填补了我们在light duty process中产品节能的要求,就好比我们在medium duty process中A3P系列和harsh duty process中A3H系列一样都能提供完美的节能产品。