“新一代静态膨胀法真空标准装置”获国防技术发明二等奖

来源:510所

  静态膨胀法真空标准装置具有操作简单、测量不确定度小的优点,经过百年的探索和研究,包括我国在内的多个国家已将该标准作为真空计量基准器具。近年来,随着我国在航天、高能物理、核聚变、表面科学、微电子器件等领域发展迅速,对超高真空精确校准提出了普遍需求,而传统静态膨胀法真空标准装置的校准下限通常为10-4 Pa到10-5 Pa量级,不能实现对超高真空精确校准需求,需采用新技术、新方法研制新一代静态膨胀法真空标准装置。

  国防科技工业真空一级计量站经过多年技术攻关,突破了静态膨胀法真空标准装置校准下限的延伸、真空容器容积及容积比的精确测量、极小漏孔检漏、真空材料除气及出气率测量等一系列关键技术。研制出了新一代静态膨胀法真空标准装置,校准下限比目前已报道的国际同类标准装置的最好水平(10-5 Pa量级)向下延伸了2个数量级,首次达到10-7 Pa量级的超高真空范围,实现了采用静态膨胀法对超高真空规的精确校准,解决了百年来困扰校准下限延伸的国际性难题。

  建立的新一代静态膨胀法真空标准装置进一步完善了我国真空标准的量传体系,满足了航空航天、高能加速器、核聚变、表面科学、微电子器件等领域对超高真空校准的需求,已在重离子加速器、同步辐射光源等国家重大工程的建设中得到了应用,并为我国的多个型号研制部门提供了大量准确的校准数据,为产品的安全和可靠性提供了计量保障服务。

  研制的新一代静态膨胀法真空标准装置2013年获得国防技术发明二等奖。

新一代静态膨胀法真空标准装置

研制的新一代静态膨胀法真空标准装置

新一代静态膨胀法真空标准装置

国防技术发明二等奖证书