真空溅射镀膜

真空溅射镀膜栏目主要讲述了真空溅射镀膜相关溅射镀膜原理、溅射沉积成膜技术、磁控溅射镀膜、射频溅射镀膜、离子溅射镀膜等方面的知识。

磁控溅射MoS2/W复合薄膜的微结构与摩擦学性能研究
采用磁控溅射法, 用纯MoS2/ W 双靶在模具钢Cr12 和硅基片上溅射MoS2/ W 复合纳米薄膜, 通过X 射线衍射仪、能谱仪、扫描电子显微镜对薄膜的成分和结构进行分析。
Al-Sn共掺杂ZnO薄膜的结构与光电性能研究
在固定ZnO:Al(AZO) 靶溅射功率不变的条件下, 研究了Sn 靶溅射功率对ATZO 薄膜的结晶质量、表面形貌、电学和光学性能的影响。
高功率脉冲磁控溅射电源的研制
本论文介绍了一种HPPMS高功率脉冲磁控溅射电源, 该电源由充电电源、斩波输出两部分组成, 给出了主电路框图。
直流磁控溅射法在玻璃上沉积制备金属镍膜的研究
采用直流磁控溅射法在玻璃基板上制备的半透明镍膜,用原子力显微镜(AFM)分析溅射功率对镍膜的表面粗糙度的影响。
玻璃型镀铝二次表面镜的制备及其评价试验研究
介绍了兰州空间技术物理研究所镀铝OSR 的制备以及及其部分评价试验情况。
半球形工件内表面溅射镀膜的膜厚均匀性研究
本文分别建立了计算模型,将圆平面靶的溅射区域简化为线形圆环跑道,在靶材表面余弦发射、空间直线飞行的基本假设下,推导得到了各自的半球形工件内表面上的膜厚分布计算公式。
择优溅射对深度剖析谱和深度分辨率的影响
择优溅射是深度剖析实验中导致所测量元素的成分分布偏离实际的一个重要因素。
高频半桥直流磁控溅射电源设计
稳定可靠的直流电源是直流磁控溅射镀膜质量的关键,本文采用开关频率为50 kHz 的半桥拓扑,对主回路结构和参数进行设计。
磁控溅射法制备NiZnCo铁氧体磁性薄膜的后退火处理研究
研究了后退火处理对磁控溅射法制备NiZnCo 铁氧体磁性薄膜的成分、组织及性能影响。
气压及偏压对磁控溅射TaN薄膜力学性能影响
采用电子回旋共振增强磁控溅射在不锈钢基体上制备六方相TaN薄膜,并研究了气压及偏压对TaN薄膜结构、力学性能的影响。
直流磁控共溅射制备Zn-Sb 热电薄膜的研究
本文选取纯度为99.99%的Zn 和Sb 金属靶作为靶材,采用直流磁控共溅射技术,制备Zn-Sb 合金热电薄膜,研究不同热处理条件下合成的Zn-Sb 化合物热电薄膜的结构与热电特性变化规律。
影响磁控溅射制备TiO2 薄膜性能的因素研究
从研究制备条件对Ti02薄膜的透射率及光学常数的影响出发,利用分光光度计测量薄膜的透射率,椭圆偏振光谱仪作为确定薄膜光学参数的测试仪器,研究了不同制备条件对Ti02薄膜光学特性的影响。
离子源对中频反应溅射沉积AlN 薄膜结构和性能的影响
本文采用离子源辅助中频反应磁控溅射技术沉积AlN 薄膜,通过中频反应磁控溅射解决了因“靶中毒”引起的“打火”和沉积速率大幅度下降的问题;同时利用离子源辅助沉积,进一步提高离化率,从而提高所沉积薄膜的质量。
高功率脉冲磁控溅射试验平台设计及放电特性研究
高功率脉冲磁控溅射(HPPMS)因其高离化率而得到广泛关注,是目前的热点研究方向,为此我们搭建了试验平台并对HPPMS 的放电特性进行了研究。