真空镀膜栏目简介

真空镀膜主要分蒸发镀膜、溅射镀膜、离子镀膜和化学气相沉积几种。真空镀膜栏目主要讲述了真空镀膜原理,真空镀膜工艺,真空镀膜设备等有关真空镀膜技术。

真空卷绕镀膜技术研究进展

本文从系统结构、参数控制和镀膜方式等综述了真空卷绕镀膜技术研究进展。

PLD制备CuAlO2薄膜的结构与性能研究
本文以致密的CuAlO2陶瓷为靶材,采用脉冲激光沉积技术在蓝宝石和石英衬底上制备CuAlO2薄膜,并对样品进行退火处理,研究退火条件对薄膜结构和性能的影响。
冲击载荷作用下金属薄膜缺陷的多尺度分析
应用多尺度方法对带有表面缺陷的膜-基结构进行模拟研究,旨在多角度地揭示金属薄膜失效机理。
氢化处理对Li-W共掺杂ZnO薄膜性能的影响
本论文主要通过对比讨论了Li-W 共掺杂( LWZO) 薄膜及LWZO:H 薄膜的结晶性能、表面形貌、光学性能的影响以及分析了氢化处理对LWZO薄膜的掺杂效率的影响。
基于反应气体和生长温度的Nb掺杂TiO2薄膜相图研究
应用射频磁控溅射设备在超白玻璃和石英玻璃等非晶基体上生长Nb 掺杂TiO2薄膜。
敏感陶瓷表面溅射金属化研究
本文的目的在于通过在NTC热敏电阻表面制备溅射膜Ni /V-Ag 电极来研究NTC敏感陶瓷表面溅射金属化的可行性。
聚碳酸酯表面碳基薄膜的制备及其光学性能研究
本文采用RFPECVD技术在PC材料表面沉积DLC薄膜,研究DLC薄膜和PC基片系统的摩擦学和光学性能。
H13钢-TiAlN渗/镀复合层承载能力研究
在H13 钢离子氮化基体上沉积TiAlN 镀层,在其表面形成渗镀复合层,研究渗氮基体不同表面预处理对渗/镀复合层微观形貌及承载能力的影响。
立方氮化硼薄膜的制备及研究
本文采用过渡层技术,在硅片上先沉积三元BC-N过渡层,再沉积c-BN层,有效地降低薄膜内应力,实现了c-BN厚膜的制备。同时,本文也对薄膜的结构、成分、表面状态和纳米硬度进行了表征。
Ti6Al4V表面沉积TiCN薄膜的结构及水环境中的摩擦学性能
本文即采用多弧离子镀技术在Ti6Al4V合金表面沉积TiCN薄膜,研究了该薄膜的形貌、结构以及在干摩擦、水和海水环境条件下的摩擦学行为。
氮氧化铪薄膜力学与光学特性研究
氮氧化铪薄膜作为多元化合物,讨论N、O 不同化学计量比对其力学和光学性能影响就具有重要意义。
沉积角度对激光沉积类金刚石膜的影响
本文通过倾斜衬底而不是移动或倾斜靶材来改变激光沉积类金刚石膜的沉积角度,因此等离子体的动能和分布不受影响。
MgO/Au复合薄膜的反应射频磁控溅射法制备及表面形貌研究
本文采用反应射频磁控溅射法制备MgO/Au复合薄膜,比较了Mg靶和Au靶共溅射、分步溅射制备复合薄膜的表面成分及形貌,研究了溅射时衬底温度和Ar/O2气体流量比对薄膜晶粒分布、晶粒尺寸和结晶取向的影响。
NiFeNb缓冲层和NiO插层对坡莫合金薄膜各向异性磁电阻的影响
为了研制出高精度的地磁导航系统,必须开发出对弱磁场及方位都敏感的磁性材料-坡莫合金薄膜。
航空透明件导电膜用纳米耐磨保护涂层研究
本文以紫外光固化树脂为有机相,采用溶胶- 凝胶法制备出纳米SiO2为无机相,研制出与有机玻璃飞机透明件导电膜匹配的耐磨保护涂层。
钢铁基体沉积金刚石膜的研究进展
本文对不同成分和组织钢铁基体化学气相沉积金刚石膜的影响因素进行了分析,综述了钢铁表面化学气相沉积金刚石膜的国内外研究现状,指出了今后钢铁上沉积金刚石膜的发展方向。