真空技术在工业上应用

真空应用

真空技术网>真空应用>

推荐电镀污水中有机污染物去除工艺

电镀废水中的有机污染物来源主要有3个方面：镀前处理、电镀过程和镀后处理。污水中有机污染物的3种去除方法：生化法、微波化学法和物化法。

氧化镍薄膜阻变特性研究进展

本文从器件结构、开关机理及掺杂等方面对近年来NiO薄膜阻变特性研究进行了综述与分析，并对阻变存储未来发展趋势及面临的挑战进行了展望。
杏鲍菇微波真空薄层干燥数学模型建立与评价

本文以杏鲍菇为原料，通过单因素试验，研究微波强度、物料厚度和腔体绝对压力等因素对杏鲍菇微波真空干燥过程物料含水率和干燥速率的影响。
柔性衬底铜铟镓硒太阳能电池研究进展

本文对柔性衬底CIGS太阳能电池的结构、特性以及衬底材料作了简单介绍，综述了柔性CIGS太阳能电池近年来的研发现状，最后就柔性CIGS太阳能电池的研发与产业化过程中存在的问题进行了分析与归纳。
平面磁控溅射靶磁场的模拟优化设计

本文根据磁控溅射靶的特点，基于ANSYS软件模拟了二维磁控溅射靶磁场的分布，提出一种采用两磁导片结构来改善磁控溅射靶面水平磁场分布的方法。
平板等离子体紫外光源紫外光辐射效率研究

在本文中，采用ITO作为前极板、与玻璃牢固结合的铝箔作为后极板、多孔氧化铝作为介质，设计了一种平板等离子体紫外光源。
逆向热键合技术制作SU-8胶纳流控通道

本文分析了界面间粘附能的大小对图形转移和键合过程的影响，并通过改变封装胶层的厚度，获得了不同尺寸的纳米通道，建立起胶层厚度和纳米通道尺寸精确的线性关系。
孪生磁控溅射制备氮化铬涂层的研究

本文的主要目的是利用中频磁控溅射技术优势制备CrNx涂层并研究氮气流量对涂层结构、耐腐蚀等性能的影响。
离子束辅助磁控溅射沉积CrNx薄膜结构以及力学性能研究

本文采用离子束辅助磁控溅射制备CrNx薄膜，研究了不同氮气流量下薄膜的微形貌、组织结构以及硬度、弹性模量的变化，分析了离子束辅助对反应磁控溅射沉积CrNx薄膜的影响。
反应磁控溅射技术的发展情况及趋势

综述了反应磁控溅射技术的发展情况。分析了模拟反应磁控溅射的“Berg”经典模型;详述了反应磁控溅射过程中迟滞效应和打火现象的产生原理及过程;分析了消除迟滞效应和打火现象的各种方法并提出个人的观点;展望了反应
栅极绝缘层和有源层沉积工艺的优化对TFT特性的影响研究

本文针对AL层的SiH4和H2流量、压力、间距以及功率设计了5因子2水平的1/4的部分因子实验，确定了AL层提升Ion的最佳的沉积条件，在AL层的最佳的沉积条件的基础上，设计GL层的NH3流量和功率的全因子实验。
强流脉冲电子束辐照YG6X硬质合金表层组织与性能研究

本文选用YG6X硬质合金为实验材料，研究HCPEB处理表层的组织和性能变化规律，探索运用HCPEB技术进行硬质合金表面辐照改性的应用前景。
菱镁石和白云石的煅烧条件对球团密度及还原过程的影响

本文研究了白云石和菱镁石的煅烧条件对其压制成球团的密度的影响。同时以铝热还原煅烧菱镁石和煅烧白云石的混合物为例，讨论了煅烧条件对还原过程的影响。
类金刚石膜-磨粒滑动接触过程的有限元分析

本文采用ANSYS有限元软件分析磨粒与DLC膜表面滑动接触的整个过程，研究DLC膜表面接触区域的相关应力和应变的变化特点，力图为DLC膜的表面磨损机理研究以及抗磨设计提供相关理论依据。
高炉粉尘球团真空碳热还原过程中Zn还原动力学

本文对真空条件下碳热还原高炉粉尘球团过程中Zn还原动力学进行了研究，阐述了其还原机理，建立了Zn还原宏观动力学方程，找出了Zn还原的限制性环节，为高炉粉尘球团真空碳热还原工艺脱锌并回收锌提供了理论基础。
放电功率对VHF- PECVD沉积微晶硅薄膜的生长特性的仿真模拟

本文采用Comsol中的等离子体模块和Chemkinpro中的AUROR模块相结合的方法，研究了甚文频PEVCD沉积μc-Si:H薄膜过程中放电功率对等离子体特性、气相反应和表面生长的影响，并与实验进行了比较。
真空管道高速列车气动阻力及系统参数设计

本文建立低压环境下真空管道高速列车空气动力学计算的流体模型、数学模型和数值计算模型，对不同管道压力、不同阻塞比和不同列车速度下的真空管道高速列车空气动力学特性进行分析。
磁控溅射掺铜TiO2薄膜光学特性的分析

本文采用了磁控溅射法制备Cu掺杂TiO2薄膜，分析了Cu 的掺杂量对TiO2薄膜吸光度，禁带宽度的影响，探究Cu在TiO2薄膜中的形态特征。
SiCOH低k介质中低表面粗糙度沟道的刻蚀研究

本工作以获得具有完整剖面结构的低表面粗糙度沟道为目标，采用C2F6/O2/Ar双频容性耦合等离子体，开展了SiCOH低k介质中沟道刻蚀的研究。
氮流量比对直流/射频磁控溅射CrN涂层耐腐蚀性的影响

本文采用线性极化曲线的方法计算极化电阻，并利用测得的动态极化曲线获得腐蚀电流icorr。采用Sirion场发射扫描电子显微镜(SEM)观察涂层腐蚀前后的形貌，并测定涂层厚度。
表面波激励等离子天线辐射方向图重构方法研究

本文采用软件仿真与实验验证相结合的方法对等离子天线方向图的可重构性能进行研究。