全罗茨真空泵无油抽气系统的应用研究(2)

2013-06-09 张宝夫台州职业技术学院真空工程技术中心

2、应用中的研究内容及解决办法和效果

2.1、噪声问题

　　图3 所示全部采用罗茨泵组成的真空抽气系统，具有工作腔内完全干式运行的重要特点，但这型抽气系统目前不带消声器运行时的噪声高达150dB(A)，带消声器噪声也要达到98~110dB(A)，尤其是抽气系统在接近极限压力附近工作时最后一、二级如图中的气冷罗茨泵V、IV，由于承受的压差较大，罗茨泵在运行时气流会发出巨大的气动噪声，严重地干扰工作环境，影响人们的身心健康。为此通过数值模拟和气流动力流场分析的方法，研发了具有多维曲面的转子，改变泵和转子的结构，缓冲气流的冲击，降低噪声中影响最大、强度最高的气冷罗茨泵的气动噪声，其次在泵的排气口设置集阻性和抗性于一体的排出口消声器。

表1 极限压力及最低入口工作压力

极限压力及最低入口工作压力

2.2、运行中的压缩热平衡问题

　　由于罗茨泵在运行过程中内部没有压缩，因此在入口压力高、进排气两侧压差大的工况运行时，会产生压缩热，为解决压缩热平衡问题，在全罗茨泵组合抽气系统中，作为前级的罗茨泵V、VI 有时甚至III、II 必须采用ZJQ 型气冷式直排大气罗茨泵，与普通罗茨泵相比，气冷式直排大气罗茨泵可以解决压缩热平衡问题。罗茨泵的压缩功率为：

罗茨泵的压缩功率

　　其中： A—压缩功(kW); 荭P—罗茨泵的压差(10^-6 Pa);P2—罗茨泵出口压力; P1—罗茨泵入口压力; S—罗茨泵的抽速(m³/s); S 前—前级泵的抽速(m³/s)。

　　上式的压缩功A 将大部分转化为热量。

　　以ZJQ2500 为例，当压差荭P=5.32×10⁴Pa 时,其发热功率为A=5.32×10⁴×10^-6×2500 =133(kW)，如此大的发热功率在实际运行时是依靠配带一只外置的热交换器把热量带走，经过冷却的气体部分返回去冷却转子与泵体，热交换器面积的大小按需要交换的发热功率计算。

2.3、配套功率

　　如上所述，罗茨泵的消耗功率与其抽速及压差成正比，在前级抽气速率S 前一定的情况下，其消耗功率与转子转速具有二次方负载特性，与入口压力的变化成正比，随着入口压力的增加成正比地增加，而随着转速的降低而快速的降低。为了使泵在运行过程中不使电机过载，通过变频的方法，在高的入口压力范围降低电机转速，而随着入口压力的降低可以不断提高转速提高有效抽气速率，达到既可以降低配套功率又可以缩短抽气时间提高运行效率的目的。

2.4、热交换器泄漏问题

　　与气冷罗茨泵配套的热交换器有些工况的入口气流温度最高可达150℃，而出口仅仅在40℃左右，热交换器冷却管经常因为受热膨胀发生变形造成泄漏，为防止冷却管变形泄漏，设计研发了一种热交换器芯，这种热交换器的芯可以随温度温差的提高可以在壳体内自由伸缩，列管在壳内分布均匀，气体在热交换器内能够得到充分冷却而不发生泄漏。

2.5、杂质倒入泵腔卡死气冷罗茨泵的问题

　　全罗茨泵组合最后一级目前有两种方式，如图5(a)和(b)，可以使整个罗茨泵抽气机组在停泵时泵不返转、不产生过压，又可防止某些工况抽气系统抽入的氮氧化物、反应结焦物等杂质不会倒入泵腔，保障真空抽气系统的正常运行。但图5(b)噪声较高，整套机组运行时将达到110dB(A)左右。我们在图5(a)的基础上作了进一步优化和改进，首先在返气管路上设置了返流过滤器，而在排气管路上设置一只单向阀，既使杂质不会倒入泵腔，又可以进一步降低噪声。

最前级气冷罗茨泵的组合方式

图5　最前级气冷罗茨泵的组合方式

3、罗茨泵抽气系统的控制

　　采用PLC 作为控制系统的一级中枢，控制系统各部件的开停，采集现场气流温度、真空压力传感器所采集的弱电信号，将结果反馈出来进行相应的处理。根据实时的负载情况控制变频器的频率输出，在电机负荷允许的情况下最大限度提升泵的转速提高抽气速率。变频器是泵轴转速控制的直接执行者，执行CPU 传送过来的指令及将电机反馈回来的负载信息准确地传回CPU 系统。抽气系统为机电一体化产品，运用传感技术对抽气系统的所有工作过程实行状态检测，达到全自动化的过载、过温、压力、冷却水等控制，缩短抽气时间、提高效率及降低功率消耗等。抽气系统电气控制满足自动顺序开车、停车，同时满足逐级手动调试的要求。