罗茨真空泵的分类与优点

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  罗茨真空泵是一种旋转式容积真空泵。其结构形式是由罗茨鼓风机演变而来的。它于1944年首先出现于德国,是为适应在 10 ~ 1000Pa 压力范围内具有大抽速的真空熔炼系统而作为机械增压泵使用。

根据罗茨真空泵工作压力范围的不同,分为

  1、低真空罗茨泵:直排大气的干式单级罗茨泵(10000Pa)和湿式罗茨泵(2000Pa);

  2、中真空罗茨泵:机械增压泵(1×10-1 Pa);

  3、高真空罗茨泵:多级干式罗茨泵(高真空多级罗茨泵;

  国内用量最多的为中真空罗茨泵 (以下简称罗茨泵) 。

罗茨泵与其它油封式机械泵相比有以下特点:

  1、在较宽的压力范围内有较大的抽速;

  2、转子具有良好的几何对称性,故振动小,运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙,不用润滑,摩擦损失小,可大大降低驱动功率,从而可实现较高转速;

  3、泵腔内无需用油密封和润滑,可减少油蒸气对真空系统的污染;

  4、泵腔内无压缩,无排气阀。结构简单、紧凑,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感;

  5、压缩比较低,对氢气抽气效果差;

  6、转子表面为形状较为复杂的曲线柱面,加工和检查比较困难。

罗茨泵在真空工程领域中应用

  1、在中真空范围作为机械增压泵应用,一般与前级泵(旋片泵,滑阀泵和水环泵等)串联构成真空机组;

  2、双级或多级罗茨泵机组可获得高真空;

  3、对于干式清洁无油的抽气系统多用气冷式罗茨泵机组;

  4、对于含水蒸气的被抽系统,多用湿式罗茨泵;

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