罗茨真空泵的结构与工作原理

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  罗茨真空泵的结构简图如下图所示。在泵腔内,有二个"8"字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上,由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间,转子与泵壳内壁之间,保持有一定的间隙,可以实现高转速运行。

罗茨泵的结构简图

  由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵,通常压缩比很低,故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外,还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度,可将罗茨泵串联使用。

罗茨泵的工作原理

  罗茨泵抽气时两个转子由传动比为1的一对齿轮带动,作彼此反向的同步旋转运动。转子彼此无接触,其间存在间隙。

罗茨泵的工作原理

罗茨泵的抽气特点

  在较宽的压力范围内有较大的抽速;

  转子之间、转子与泵腔壁之间有间隙,泵腔内运动件无摩擦,不必润滑,泵腔内无油;

  转子形状对称,动平衡性能良好,运转平稳,选择高精度的齿轮传动,运转时噪音低;可获得较高转速(抽速);

  罗茨泵在抽气过程中其工作空间容积是不变的,即“无内压缩”,这与大多数的变容式真空泵不同。

  气体的排出:当转子顶部转过排气口边缘,封闭空间与排气侧相通时,由于排气侧气体压力较高,则有一部分高压气体返冲到封闭空间中,使空间内气体压强突然升高到排气压力,即所谓的“外压缩过程”。当转子继续转动时,气体排出泵外。

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