罗茨真空泵最大允许压差的测量方法(1)

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最大允许压差 maximum tolerable differential pressure

        最大允许压差是指泵连续运转1h,不发生故障所允许的出口压力与入口压力差值的最大值。对于中真空罗茨真空泵,测量时的入口压力应等于或低于1×103Pa。

测试罩 test dome

       具有精确规定形状和尺寸的专用真空容器,被测量的气体通过它进入泵内,其上装有压力测量装置。

        如图1所示,形状为圆柱体。罩的轴向尺寸为1.5D,D是罩的内径。试验气体入口位于罩的轴线上,并与连接法兰的距离为D,进气口的排列应使气体自背离泵口的方向进入测试罩。测量入口压力的真空计在距离连接法兰0.5D处,其轴线垂直于罩的轴线。测试罩的轴线应垂直于泵入口法兰平面。除了进气管路外,法兰和测试罩之间的连接管路不应穿出测试罩的内壁。

        测试罩的容积VD至少应是泵腔有效容积VP的5倍。在泵入口必须连接一个异径接头,其长度不应超过0.5D(见图1)。不同规格的泵适用的测试罩由表1给出。

不同规格的泵适用的测试罩

压力计

        对于压力高于或等于1Pa时,其校准精度为±5%,对于更低压力,其校准精度为±10%。

前级管路及前级管路上的测试罩

        被测的罗茨真空泵出口与前级泵之间的管路为前级管路,应按图2设计制作。前级管路上的测试罩按图1设计制作。前级管路上的测试罩直径不小于前级管路的直径D1,如不一致时应加接异径接头,异径接头按图1设计制做。

前级管路及前级管路上的测试罩

前级管路及前级管路上的测试罩

前级管路及前级管路上的测试罩

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