皮拉尼(Pirani)真空规的修理

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)南京医科大学电镜室 作者:黄立

       皮拉尼真空规是电镜中的一个重要部件。真空系统真空状态的检测及抽真空程序的自动控制都要靠它提供的各检测点的讯息来实现。它如损坏势必影响仪器的正常运转。我室飞利浦EM400装了英国产Edwards公司的PRCT10-P型皮拉尼规。它是一个金属的开口管,与玻璃制品结构不同,国内没有生产,亦很难买到,无处修理。其价格亦较贵。我们将它打开后,发现它很容易修复,修复后的皮拉尼规已使用半年多,性能很好。

       它利用电热丝的电阻温度特性和温度随压强变化关系,将压强变换为电阻测量。如图3-9所示。用电桥测出待测电阻。图中Rx 为电阻式规管,接入待测真空系统。R为与Rx结构相同的补偿管,用来抵消环境温度的影响。Ro用于调节零点,即调电桥平衡。

皮拉尼真空规

图3-9 电阻式真空规

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