电阻真空计(皮拉尼真空计)的结构

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  电阻真空计也称皮拉尼(Pirani)真空计,它是凭借热丝电阻的变化反映压力的。它主要由规管和测量线路两部分组成,其测量范围为104~10-1 Pa。

  电阻式规管的结构如图4-3所示,在规管壳内封装一个用电阻温度系数高的电阻丝绕制的圆柱螺旋形热丝,热丝两端用引线引出规管,接测量线路。规管壳可用金属或玻璃制成,金属外壳具有耐用、拆卸热丝方便等优点,缺点是密封性能较差,价格高;玻璃外壳具有密封性能好、价格低等优点,缺点是易损坏。

电阻式规管的结构

图4-3 电阻式规管的结构

  绕制热丝的一些电阻丝的电阻温度系数和电阻率,如表4-1所示,其中常用的有钨、铂和镍三种。为了保证热丝的工作稳定性,除对热丝表面进行清洁处理外,有时还在热丝表面敷一层薄玻璃、石英或铷等,以避免热丝在高压力下使用时被氧化或玷污,但真空技术网(http://www.chvacuum.com/)认为这会使其热惯性增大。

表4-1 一些金属的电阻温度系数和电阻率

一些金属的电阻温度系数和电阻率

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