真空规吸放气特性测试研究

真空规吸放气特性测试研究

盛学民 冯 焱 董 猛 成永军 赵 澜 张瑞芳

(兰州空间技术物理研究所国防科技工业真空一级计量站 兰州 730000)

　　摘要：利用真空材料放气率测试装置对各类真空规的吸放气特性进行了实验测试研究，主要内容包括：真空规吸放气特性测试的实验原理及方法、实验过程和结果分析等。

　　在真空材料放气率测试装置上运用定容法、小孔流导法和双通道气路转换法对冷规、分离规、电容薄膜规和磁悬浮转子规等真空测量元件的吸放气特性进行实验研究。

　　测试时系统经过高温烘烤，以减小系统本底放气对真空规吸放气测试带来的影响;通过组合使用连接在测试系统上的真空规，测量系统的压力变化，来研究真空规的吸放气特性;利用真空规传感器和管道阀门的开关等不同状态下放气量的差异性来测量研究各真空规的吸放气量。

　　研究结果可对真空计量标准的使用和性能研究提供借鉴和参考。