真空测量的特点

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)真空技术网整理 作者:真空技术网

  1、测量压力范围宽,为105~10-14 Pa。

  2、大部分真空计是间接测量,只有压力为105~10Pa时,可直接测单位面积所受的力。但大多数真空测量的压力比上述要小,不能直接测量,应利用低压下气体的某些特性(如热传导、粘滞性和电离等)进行间接测量。

  3、多采用非电量电测技术。由于非电量电测技术具有灵敏度高、反应迅速、可实现自动和远距离测量,因此,大部分真空计采用这一方法。电子式真空计是由真空测量规管和电子测量电路(控制和指示单元)两部分组成。规管是敏感元件,它利用气体在低压下的某些特性将非电量的气体压力转变成电信号,再由测量电路将规管输出的电信号进行放大和显示。必要时,将输出信号送至自动记录仪和自动控制设备中,实现真空设备自动化。规管将非电量压力转变成电量所需的条件,由测量电路的控制单元提供。

  4、部分真空计的读数与气体种类和成分有关。所以测量时要特别注意被测量气体种类和成分,否则会造成很大误差。

  5、测量精度不高。在间接测量压力过程中,往往需要外加能量来协助。外加能量可能是热能、电能、机械能和放射能等。这样,在引入外加能量的同时,也不可避免地引进了测量误差。因此,真空测量仪表的精度比其他物理测量仪表要低。如真空测量基准仪表和标准仪表的不确定度为(2~ 10)×10-2,工作仪表的测量误差在±20×10-2以内就很好了。

  真空测量的特点为真空技术网首发,转载请以链接形式标明本文首发网址。

  http://www.chvacuum.com/vacuum-measure/gauge/036976.html

  与 真空规管 真空测量 相关的文章请阅读:

  真空规管http://www.chvacuum.com/vacuum-measure/gauge/