几种典型的超高真空系统图

真空系统 鬼马 真空技术网整理

    由于原子能工业和火箭技术的发展,超高真空技术也得到迅速发展和应用。其系统有如下几种。

    ①用扩散泵和钛泵并联为主泵,扩散泵单独串联前级机械泵的真空系统。图17所示,称为钠灯超高真空封接炉的系统。可以达到极限真空度为1.33×10-6Pa。

钠灯封接用的超高真空系统图

图17:钠灯封接用的超高真空系统图

    ②由扩散泵串联扩散泵(中间泵),再串联机械泵的真空系统。如图18,是一个超高真空系统和设备的结构图。主泵是一个水银扩散泵,泵顶有冷却挡板和液氮冷阱,中间泵也是水银扩散泵。在中间泵和前级机械泵之间设有油蒸气捕集器。并设有各种单独的加热器,烘烤真空室和主泵顶部及捕集器。该系统的特点是能获得超高真空,并能稳定工作。

超高真空系统图

图18:超高真空系统图

    ③主泵为分子泵串联机械泵的真空系统,该种超高真空系统,由于机械泵有油存在,需要在机械泵入口管道上设置捕集器冷凝油蒸气。如果分子泵串联分子筛吸附泵(前级泵),则构成了无油超高真空系统,该系统比较清洁。

    ④用钛泵或溅射离子泵做为主泵。并联或串联分子筛吸附泵(做为预真空泵),构成无油超高真空系统.如图19所示。也可以用钛泵联接预真空机械泵,但此时机械泵的入口管道上要加油蒸气捕集器。

    ⑤用低温泵做为主泵,串联或并联分子筛吸附泵(预真空泵),构成无油超高真空系统。同样也可以用机械泵做为预真空泵,在机械泵入口管道上设置油蒸气捕集器。