直线驱动器的工作原理与结构示意图

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)实用真空技术 作者:郭方准

  超高真空直线驱动器的直线驱动和真空密封同样靠波纹管来实现(图1)。波纹管的两端分别和移动法兰与真空法兰焊接。移动法兰在真空一侧和驱动轴连接,另一侧设计成螺纹构造。移动法兰和把手之间的螺纹构造相匹配,旋转把手,则波纹管作直线运动,从而带动驱动轴的直线运动。真空法兰内部安装直线轴承,可实现驱动轴的运动准直性。直线驱动器的外筒上带有刻度,通过把手的位置可知驱动轴的行程。

直线驱动器的示意图

图1 直线驱动器的示意图

  直线驱动器精度高,重复性强,可和直流或步进电机组合,实现电控操作。

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