典型的中真空系统图

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    中真空系统应用比较普遍,许多应用设备都采用该种系统。如自耗炉真空系统,感应炉真空系统和一些热处理炉的真空系统等。中真空系统一般是由两个以上的泵串联组成的。下面介绍几种系统:

    ①油增压泵(主泵)串联机械泵(前级泵)的真空系统。该系统的工作压强范围为1.33~1.33×10-1pa。其优点是抽气能力大,系统简单,振动小,工作稳定可靠,维修方便,成本低。缺点是预抽时间长(同罗茨泵系统比较),因为在1.33~133.3Pa压强范围内,油增压泵和机械泵抽速部下降;工作中需要较贵重的增压泵油。

    ②罗茨泵串联机械泵的真空系统。该系统的工作压强范围为1.33~1333Pa。不但抽气能力大,而且起动快。预抽气时间短,因为在1.33~101325Pa压强范围内。机械泵和罗茨泵最大抽速能很好连接上,缺点是工作时有振动,且噪音大;工作中随时间增加,罗茨泵性能下降。图14就是这种系统,它是用在真空离子渗碳和真空淬火热处理工艺中的系统。这里除罗茨泵系统之处,又并联一个小机械囊。它在离子渗碳时开动,并同时停止罗茨泵系统,可节省能量。

    ③罗茨泵串联小型罗茨泵(中间泵),再串联机械泵的真空系统,其工作压强范围为O.133~1333Pa。不但工作压强范围大,而且工作真空度高,同时具备了罗茨泵系统的特点。中间串联的小型罗茨泵减小了主罗茨泵对前级机械泵的依赖性,因为压缩比减小,加宽了工作压强范围和提高了极限真空度。

典型的中真空系统图

图:典型的住真空系统

    ④以油增压泵和罗茨泵为主泵,两个泵出口串联罗茨泵.再串联机械泵的真空系统,其工作压强范围为O.133~1333Pa。该系统具有罗茨泵系统和油增压泵系统的双重特点,如图15所示,被称为真空自耗炉的典型系统,对于熔炼钛合金具有突出优点。

    ⑤除了上述几种之外,还有油增压泵串联罗茨泵,再串联机械泵的真空系统。还有罗茨泵串联水环泵的真空系统,它适合于排出灰尘较多的应用设备上。

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