电输入密封的设计要求与常用结构图

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)真空技术网整理 作者:剑气书生

   将电输入到真空容器中去进行供电,在各种真空设备上是经常遇到的,对于金属真空设备来说,这种引电装置最好采用可拆卸的连接密封,这样便于维修。从输入的电流、电压、频率和输电线的温度等因素考虑,对输电线本身及真空密封材料的设计要求是

    ①引线装置的真空密封多采用橡胶做密封圈,因此对大电流、高温处应采用水冷,以防止温度过高时破坏真空橡胶圈和影响真空室的真空度。

    ②真空密封应可靠,对导电紫铜棒应当要求有较高的精度和较好的表面粗糙度,并且在装配时应涂以真空油脂。

    ③输电线的直径应大小适当,不应使电流密度过大,以防输电线过热。

    ④由于输电线上有一定的电压,因此必须使它与连接密封处绝缘,特别是高压输电线,更不能忽视。绝缘才力哦啊的选用,应根据电压大小,温度的影响等因素,去考虑材料的电阻率,表面电阻率,击穿电压等问题。常用的绝缘材料的电阻率,表面电阻率,击穿电压等问题。常用的绝缘材料有真空橡胶,玻璃,陶瓷、玻璃布板、玻璃布棒、黄蜡布,聚四氟乙烯等。

    ⑤应考虑频率的影响。在低频下频率对密封的影响并不大,但是在高频下,输电线同绝缘材料应按特殊要求确定。例如,当频率达到108Hz以上时,用作输电线的某些材料的电阻率可能超过允许值,如可伐合金用作高频时,由于高频损耗,绝缘体的密封就会被加热到不允许的程度。因此必须降低输电线的电阻率或采用其他材料。

    ⑥应考虑温度的影响。对于需要烘烤的输电线,应能承受500oC高温。必须区别引线在烘烤时,无电流时所承受的烘烤温度及工作时发热的两种情况。如果输电线被加热,在结构中应避免用任何不能承受温度的材料。    3.6.2 电输入密封的结构

    常用的电输入密封结构有如下几种。

    ①接线柱式密封

    如图17所示。这种结构是一般真空设备上最常采用的把电引入到真空室中去的一种结构。例如在真空镀膜设备上即常常用这种结构对镀膜室内的照明装置供电。

电极引入真空室的结构

图17:电极引入真空室的结构

一种外套水冷式电极密封结构

    图18是一种外套水冷式电极密封结构

    ②固定式导电杆密封

    固定式导电杆密封的结构如图19。当导电杆直径d≤20mm时采用(a)型,d>20mm时用(b)型。

固定式导电杆的密封结构

图19:固定式导电杆的密封结构

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