常用CF法兰的型号和尺寸表

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)实用真空技术 作者:郭方准

  CF法兰的内侧有凸起的锋利刀口,通过挤压无氧铜垫圈(或其他软金属)使其变形而达到密封真空的目的,是全金属材料的密封方式,被广泛应用于超高真空系统中。CF法兰也常用ICF法兰来表示,CF后面的数字是标准的导管内径,而ICF后面的数字是法兰的外径。常用CF法兰的型号和尺寸见表1。

  CF法兰分为固定型和松套型两种。固定型法兰为一体化结构。松套型法兰由挤压铜垫圈的刀口部分和通过螺栓的固定部分构成。法兰上可开通孔或螺纹孔。开有通孔的法兰要通过螺栓和螺母固定;开有螺纹孔的法兰可直接使用螺栓固定。法兰的材质主要为 SUS304(或 SUS304L),因为SUS304放出气体少,加工和焊接比较容易。

表1 常用CF法兰的型号和尺寸

常用CF法兰的型号和尺寸

  注:n×d中n为孔的个数,d为孔径(mm)。

  CF法兰的特点是不分雌雄,包括无氧铜垫圈在内全部由金属构成,因此可以承受高温(250℃以上)烘烤。其缺点是价格高,无氧铜垫圈不能多次重复使用。

CF法兰的安装

  CF法兰的安装要求较高。因为无氧铜垫圈被挤压后会变形,所以用均等力量扭紧螺栓非常重要。如果螺栓用力不均匀,会使对角位置的法兰翘起,以至于漏气。扭紧螺栓的力矩大约如下:M4螺栓20kgf·cm,M6螺栓70kgf·cm,M8螺栓100kgf·cm。

CF法兰使用注意事项

  CF法兰使用时有几个注意点:螺栓一定要涂抹 MoS2,以免螺栓和螺母咬合卡死;法兰外周要对齐;法兰面要保持一点距离,为烘烤后继续上紧螺栓留出余地。

  CF法兰中,刀口要切入金属密封圈来实现真空密封。长期使用,刀口会逐渐变钝。另外,受硬器碰撞后刀口容易受伤。这时的补救措施之一,是使用IPD金属密封圈。IPD金属密封圈不依靠法兰的刀口,而依靠刀口外周的斜面来密封。

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