真空连接波纹管的类型与特点

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)实用真空技术 作者:郭方准

  本文所介绍的波纹管,用在超高真空系统中可实现弯曲、伸缩和偏心作用(图1),要求波纹管有可靠的密封性能和使用寿命。

成型波纹管的使用形式

图1 成型波纹管的使用形式

  波纹管通常分为成型波纹管和焊接波纹管两种,用在超高真空系统中的波纹管材质,一般选用SUS316型号不锈钢。

  制作口径稍微大一点儿的成型波纹管,首先将不锈钢板材卷成筒状,接口处焊接。将圆筒插入波纹管模具中,通过液压完成成型波纹管的制作。

  在超高真空系统中,连接分子泵机械泵的波纹管,多采用两端为NW 法兰的成型波纹管。

  成型波纹管的优点是制作简单、成本低。缺点是伸缩和柔韧性不足。弥补成型波纹管不足的是焊接波纹管。

  焊接波纹管是将圆环状的不锈钢薄片,内径和外径交替焊接而成的薄壁褶皱软管(图2)。焊接方式为等离子焊,这种波纹管有极大的伸缩性,是超高真空系统的连接和各种运动导入器中不可缺少的部件。合理选择波纹管的自然长度,使用寿命可达数十万次以上。

焊接波纹管的构造

图2 焊接波纹管的构造

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