用于真空光导入的玻璃观察窗
2014-09-02 郭方准 实用真空技术
能使光通过且能封闭真空的器件是真空窗口。真空系统中使用最多的是观察窗，用来监视真空腔体内部的状态或光源传输。观察窗和铅玻璃结合使用的情况下，不仅可以做观察用，还可以遮挡X射线。用在真空系统上的观察窗要承受约1kgf/cm2的压强，所以要充分考虑其强度，以免当面积较大时，发生玻璃破损的事故。真空观察窗的耐烘烤温度在300℃以内，不可剧烈升温，最好控制在2～3℃/min。
通常用于超高真空设备的光导入材料有硬质玻璃、蓝宝石、石英等。这些材料对于光的透过率如图1所示。特别是要保证紫外线的透过，而且要检测真空内发出光的情况下，主要使用蓝宝石观察窗。
不同窗口材料可透过光的波长范围可参照附图1。
图1 不同材料真空观察窗对不同波长光的透过率
各种观察窗基本都是采用前面介绍的永久密封方式制作，也有采用橡胶圈密封的可拆卸方式。采用橡胶圈密封的观察窗，一般用在低真空或高真空腔体上。超高真空系统的进样室快开门上，也经常使用橡胶圈密封的观察窗(图2)。
图2 观察窗
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