微型离子泵抽速测试结果及误差分析(1)

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)清华大学电子工程系 作者:梅国强

微型离子泵抽速测试结果

        按照上文所述方法,用A1型磁钢,并用配套电源进行测试。用高纯氮气为抽速测试气体。每个数量级测量三个稳定点。

微型溅射离子泵抽速曲线 

图3  微型溅射离子泵抽速曲线

         图3是微型溅射离子泵测试结果:离子泵对N2抽速≥013L/s。根据二极型溅射离子泵对不同气体抽速的经验比值可知,溅射离子泵对N2抽速为对干燥空气抽速的85%。

         图4 是美国Varian公司提供的微型溅射离子泵重量与抽速的关系曲线,可以看出:Varian公司生产的重量为300g的溅射离子泵抽速是0135L/s。

Varian公司微型溅射离子泵抽速与重量的关系 

图4  Varian 公司微型溅射离子泵抽速与重量的关系

          作者研制的新型微型溅射离子泵重量≤150g,实际测试抽速≥013L/s。

两种不同磁场下的抽速性能比较

        为了提高微型溅射离子泵的性能,设计了多种磁场源。图5是其中两种磁场源磁场强度的空间分布;图6 是小离子泵分别工作在两种磁场源下的抽速曲线图。

 

图5  两种磁场源磁场强度分布图

 

图6  两种磁场源离子泵抽速曲线

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