微型离子泵抽速特性测试装置

真空基础 王金锁 上海维太真空技术有限公司

微型离子泵抽速特性测试装置

王金锁

上海维太真空技术有限公司

  摘要:本文介绍了对标称抽速为(0.5~2)L/s 的离子泵,在(10-5~10-3)Pa 真空度下实际抽速特性的测试装置和方法研究。

  微型离子泵(单个或几个抽速单元)抽速测量需要考虑以下因素:结构必须简单,减少吸放气影响;对离子泵单元高温烘烤(350~550)℃除气;测量方法以及测量仪器的选取必须合理,主要考虑成本和不确定度的匹配。

  本文中针对以上几个主要方面的设计思路、加工制造进行一定的阐述。