微型离子泵抽速特性测试装置

2013-03-21 王金锁 上海维太真空技术有限公司

微型离子泵抽速特性测试装置

王金锁

上海维太真空技术有限公司

　　摘要：本文介绍了对标称抽速为(0.5～2)L/s 的离子泵，在(10-5～10-3)Pa 真空度下实际抽速特性的测试装置和方法研究。

　　微型离子泵(单个或几个抽速单元)抽速测量需要考虑以下因素：结构必须简单，减少吸放气影响;对离子泵单元高温烘烤(350～550)℃除气；测量方法以及测量仪器的选取必须合理，主要考虑成本和不确定度的匹配。

　　本文中针对以上几个主要方面的设计思路、加工制造进行一定的阐述。