JB/T 2965-1992 溅射离子泵 性能测试方法

2012-05-10 全国真空技术标准化技术委员会 真空技术网整理

标准编号:  JB/T 2965-1992
中文标准名称:  溅射离子泵 性能测试方法
代替标准号:  JB 2965-81,
标准简介:
JB/T 2965-1992 溅射离子泵 性能测试方法规定了溅射离子泵性能测试方法。 本标准适用于抽速大于10LS(-1)的离子泵。
中国标准分类号:  机械>>通用机械与设备>>j78真空技术与设备
标准状态:  现行
标准关注次数:  35次
标准上传日期:  2010-9-18
发布日期:  1992-01-01
实施日期:  1992-01-01
标准类别:  机械行业标准
标准页数:  6 页
归口单位:  沈阳真空技术研究所
文件格式:  PDF格式

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　　JB/T 2965-1992 溅射离子泵 性能测试方法