JB/T 4082-1991 溅射离子泵 技术条件

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标准编号:  JB/T 4082-1991
中文标准名称:  溅射离子泵 技术条件
代替标准号:  JB4082-85,
标准简介:
JB/T 4082-1991  溅射离子泵  技术条件规定了普通型式溅射离子泵的技术要求、检验规则、试验方法、包装、贮存等。本标准适用于JB/T 4081所规定的二极型(L型)和三极型(3L型)的溅射离子泵(以下简称泵)。
中国标准分类号:  J78

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标准上传日期:  2010-1-4
发布日期:  91-07-22
实施日期:  92-07-01
标准类别:  机械行业标准
标准页数:  
归口单位:  沈阳真空技术所
起草人:  冯玉国
起草单位:  机械电子工业部沈阳真空技术研究所
文件格式:  PDF格式

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