JB/T 10771-2007 复合分子泵技术标准

真空标准 深圳大学 深圳大学

JB/T 10771-2007 真空技术 复合分子泵

Vacuum technology-Hybrid molecular pumps

复合分子泵(Hybrid molecular pumps)是一种分子泵,其特征在于泵的进气口侧有一级,或者一级以上的涡轮分子泵抽气单元,泵的排气口侧有一级或者一级以上的牵引分子泵抽气单元,两种抽气单元串联抽气,组成一种有别于传统涡轮分子泵和牵引分子泵的新颖分子泵。

本标准规定了复合分子泵的型式和基本参数,技术要求,测试方法,检验规则,标志、包装、运输和贮存等。

本标准适用于具有前级泵、变频电源的复合分子泵(以下简称泵)。

起草单位:深圳大学

 归口单位:全国真空技术标准化技术委员会  

发布部门:国家发展和改革委员会

发布日期:2007-8-28  

实施日期:2008-2-1 

 出版单位:机械工业出版社