溅射离子泵泵体发烫故障原因分析

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)东北电子技术研究所 作者:王维明

如果溅射离子泵在启动后出现泵体过热的情况要立刻停止工作, 进行检修。此类故障的发生通常是由于溅射离子泵泵内压强过高或者油气进入。

 放气

      饱和的吸气剂在一定的条件下会重新释放出气体, 气体密度的增加会使空间内离子碰撞的几率增加, 放电加剧, 形成雪崩效应, 产生辉光放电甚至弧光放电, 最终烧毁极板。如图4 阴极板被击穿。

放电导致阴极板击穿

      有资料说, 溅射离子泵短时间暴露于大气不会造成损坏, 但是还是要尽量避免。

油污染

      油进入溅射离子泵泵体内部首先的危害是污染真空系统。大量油的进入还会损坏真空泵。油污染的来源有两个, 一个来自前级机械泵, 另一个是在拆泵重装时进入的。严重的油污染会缩短泵的使用寿命, 甚至使泵报废。

     此类故障需要采取预防措施。首先对前级泵的滤油网要定期检修。其次在拆泵重装时, 要保证在清洁的环境下进行, 并带干净的手套, 严禁徒手触摸泵内部的元件。

进气

     大量进气导致放电加剧, 阴阳极板受轰击发热。溅射离子泵泵体严重漏气会导致此类故障发生。

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