真空插板阀的结构与工作原理

一、真空插板阀的原理、使用范围

　　真空插板阀的工作原理是阀通过阀杆的左右或上下运动，将阀板与阀座压紧实现密封。驱动阀杆运动的方式有手动、电动、气动三种。手动是通过手轮的旋转，带动阀杆和阀杆上的螺母或四杆连动式的阀杆使阀板运动。

　　手、电两用的传动部件由直流电动机、齿轮箱组成。电动操作时，电动机按某一方向（如关闭方向）旋转，并通过传动部件使四杆连动式的阀杆往复运动。当阀板进入与阀座密封部位时，阀板靠板式弹簧部件的作用，使阀板压紧。

　　此时装有行程开关而自动切断电源，运动立即停止。反之，若需打开阀门时，只需按反转电钮即可。手动时，只需松开手轮背帽，按一定方向用手转动手轮即可。

　　图1为CCD-A型手、电两用的超高真空插板阀外形图。该阀结构合理，阀板与阀体密封时漏气速率小于1×10-7Pa·L/s；阀门总漏气速率小于5×10-8Pa·L/s；阀板开启时阀体烘烤温度小于150℃；手动装置允许受热温度小于65℃；工作稳定可靠，操作方便；可远距离控制。气动驱动部件以压缩干燥空气为动力，通过电磁换向阀使气动部件带动传动装置，使阀门往复运动实现启闭作用，达到密封的目的。

图1 CCD-A型手、电两用超高真空插板阀外形图

　　真空插板阀有高真空插板阀和超高真空插板阀两种。

　　1、高真空插板阀主要用于高真空系统中接通或截止气流，可安装在被抽真空容器（真空室）与真空泵之间；或用于在半连续真空作业的进出料容器上。使用温度为-20～80℃，不适用于对黑色金属有腐蚀性或含颗粒状物灰尘的气体。

　　2、超高真空插板阀主要用于超高真空系统中接通或截止气流。适用的介质为洁净的空气或非腐蚀性气体；适用温度在阀门开启时，阀体允许烘烤温度小于150℃。

　　由于真空插板阀具有流导大，密封性能好，放气率低，体积小，结构紧凑、合理，操作方便，安装位置可任意选择等一系列优点，因此真空插板阀广泛用于中、大型高真空、超高真空装置的真空系统中。

二、真空插板阀的形式和性能参数

　　1、高真空插板阀的形式与基本参数，已有行业标准（JB/T 4077—91）。该标准规范的高真空插板阀的形式和基本参数，适用于1.3×10-5～1.0×105Pa真空系统中用来开启或隔断气流的插板阀。开启阀门时，阀板两侧的压差应小于或等于2.7kPa。

　　2、我国生产的超高真空插板阀有手动（CC型）、气动（CCQ型）和电动（CCD型）三种。

　　适用于介质为清洁空气及非腐蚀性气体的超高真空系统中切断或接通气流。其中GC型系列高真空插板阀是以螺杆传动来推动钢球运动，撑开阀板关闭，又靠弹簧力收拢阀板打开的高真空阀门；GCQ系列以压缩空气为动力推动钢球运动，实现阀门的开启和关闭。

　　这两种阀的材料为不锈钢，漏气速率不超过1.3×10-7Pa·L/s。GCD型系列阀门形式同CCD型超高真空插板阀，只是连接法兰按高真空法兰由刀口金属密封结构改为丁腈橡胶圈密封结构；阀体阀板材料可为不锈钢或碳钢镀镍，阀板密封件材料为丁腈橡胶。适用范围为1.3×104～105Pa。