针阀的工作原理及结构示意图

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)实用真空技术 作者:郭方准

  针阀的气体流通管路上设置有小的孔口,调节针状密封轴和孔口的距离就可以连续改变流路的导通率,以达到控制气体流量的目的。图1是针阀的示意图。

针阀的示意图

图1 针阀的示意图

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