闸板阀的工作原理及结构示意图

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)实用真空技术 作者:郭方准

  闸板阀中的密封面,相对于气体流路的垂直方向运动而实现气流封止,其构造类似于水库的闸门,故称闸板阀(图1)。由于密封面为平面,为承受大气压强,整体构造比较厚重,体积也比较大。闸板阀内部的滑动部分通过焊接波纹管实现超高真空中的直线驱动,密封多采用氟胶圈。而闸板阀本体的密封,考虑到高温烘烤,使用金属(In)丝密封。

闸板阀的示意图

图1 闸板阀的示意图

  考虑到闸板阀两侧的压强差,闸板阀的安装有方向性,即密封面要朝向较高真空一侧。正规的闸板阀,在较高真空面通常会做一个三角形标志。

  真空腔体的连接,或者腔体和排气泵(分子泵、离子泵)的连接,多使用闸板阀。

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